[发明专利]一种常开态场发射型射频微机械开关无效
| 申请号： | 201010591240.5 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102064042A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 黄庆安;王立峰;唐洁影;韩磊;张晓兵 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01H36/00 | 分类号： | H01H36/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 汤志武 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 常开 发射 射频 微机 开关 | ||
【权利要求书】：
1.一种常开态场发射型射频微机械开关，其特征在于包括低损耗衬底（1），绝缘介质薄膜（2）、共面波导的信号线（5）和地线（3），信号线位于两根地线之间，绝缘介质薄膜（2）设在低损耗衬底（1）信号线及地线之间，其特征在于信号线中部的左右两侧各设有一排金属微尖（4），相应的，两根地线与信号线相邻一侧的中部也各设有一排金属微尖（4），地线上的金属微尖（4）与相邻信号线上的金属微尖（4）之间有间隔；低损耗衬底（1）与上述金属微尖（4）相对应的位置内凹形成一个两个空腔（6），使金属微尖（4）呈悬空状态。
2.如权利要求1所述的常开态场发射型射频微机械开关，其特征在于金属微尖（4）均呈锯齿状，且相邻的金属微尖之间为尖对尖的一一对应关系。
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