[发明专利]一种半导体激光器寿命测试装置

权利要求书

1.一种半导体激光器寿命测试装置，包括光学平台(1)以及设置在光学平台(1)上的工控机(10)，其特征在于：所述光学平台(1)上还设有平行导轨(2)和激光器水冷阵列(4)，所述激光器水冷阵列(4)与所述平行导轨(2)相互平行；所述平行导轨(2)上设有电动平移台，所述电动平台上固定着积分球(3)和光功率探测器，所述积分球(3)通过光纤连接有光谱仪(6)，所述光谱仪(6)连接至工控机(10)上；所述功率探测PD通过采集卡与工控机(10)连接；所述激光器水冷阵列(4)的旁侧还设有温度采集模块，所述温度采集模块的输出端连接至工控机(10)的输入端；所述电动平移台通过控制电缆连接有平移台控制器，所述平移台控制器连接到工控机(10)上。

2.根据权利要求1所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述激光器水冷阵列(4)的进水口通过管道和流量计连接至冷水机(12)的出水口上，所述流量计通过巡检仪(8)连接到工控机(10)上。

3.根据权利要求2所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述巡检仪(8)、温度采集模块以及平移台控制器通过三个串口连接器相连接。

4.根据权利要求1所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述激光器水冷阵列(4)上设置有由多个待测激光器组成的待测激光器阵列，所述待测激光器以等间距的排列方式置于激光器水冷阵列(4)上，所述温度采集模块上安装有多根热电偶或热电阻，所述多根热电偶或热电阻分别固定于待测激光器的热沉处。

5.根据权利要求1或4所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述激光器水冷阵列(4)通过支架(5)固定在所述光学平台(1)上。

6.根据权利要求4所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述待测激光器阵列的电源输入端连接有电源组(11)，所述电源组(11)对待测激光器进行分组电连接供电，所述电源组(11)通过GPIB控制器(9)连接至工控机(10)上。

7.根据权利要求6所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述电源组(11)是恒流电源或脉冲电源。

8.根据权利要求1所述的半导体激光器寿命测试装置，其特征在于：所述工控机(10)上设有控制系统，所述控制系统包括以下模块：

参数设置模块，用于设置所测激光器产品的基本信息，并将信息录入数据库；

监测模块，用于对激光器阵列中的各激光器产品进行温度及水流量的监测，当产品温度高于所设定的允许产品温度上限或水流量低于所设定的产品工作流量时，自动报警并切断电源以保障待测激光器的安全；

控制模块，用于对承载积分球的平移导轨的进给参数进行控制，同时也对待测激光器功率采集及光谱采集的时机、速度等进行控制；

显示模块，显示待测激光器的功率及光谱曲线，并给出待测激光器工作的中心波长信息；

数据报表模块，给出待测激光器阵列中任意一个待测激光器的工作信息报表。