[发明专利]控制传送的方法和装置、以及传送装置和加工设备有效

专利信息
申请号: 201010591792.6 申请日: 2010-12-08
公开(公告)号: CN102544190A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 杨斌 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/00;H01L21/677;C23C16/54
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 张天舒;陈源
地址: 100015 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 控制 传送 方法 装置 以及 加工 设备
【权利要求书】:

1.一种控制传送的方法,其特征在于,包括:

接收每一传感器所发送的上升控制信息,该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到;

根据每一所述上升控制信息,控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升,以将该托起装置上的料盒组件装置托离所述料盒输入传送带;

检测升降台是否准备完毕,若是,则控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降,以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上;

控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上,并对该料盒组件进行处理;

并且控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降,以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上,并再次控制所述料盒输入传送带传动。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据每一所述上升控制信息,控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升,包括:

根据一传感器所发送的一所述上升控制信息,控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升;

控制所述料盒输入传送带传动,使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。

3.一种控制传送的装置,其特征在于,包括:

接收模块,用于接收每一传感器所发送的上升控制信息,该上升控制信息通过所述传感器感应料盒组件是否到达预设位置而得到;

第一控制模块,用于根据每一所述上升控制信息,控制所有发送该上升控制信息的传感器所对应的托起装置上升,以将该托起装置上的料盒组件托离所述料盒输入传送带;

检测模块,用于检测升降台是否准备完毕;

第二控制模块,用于在所述检测模块检测到升降台准备完毕后,控制最靠近所述升降台的第一托起装置下降,以将所述第一托起装置上的料盒组件置于所述料盒输入传送带上;

第三控制模块,用于控制所述料盒输入传送带传动所述第一托起装置上的料盒组件至于所述升降台上,并对该料盒组件进行处理;

第四控制模块,用于控制除所述第一托起装置外的所有托起装置均下降,以将其上的料盒组件均置于所述料盒输入传送带上,并再次控制所述料盒输入传送带传动。

4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述第一控制模块包括:

第一控制单元,用于根据一传感器所发送的一所述上升控制信息,控制发送该一上升控制信息的一传感器所对应的托起装置上升;

第二控制单元,用于控制所述料盒输入传送带传动,使后续的料盒组件到达另一传感器所能感应到的预设位置。

5.一种传送装置,包括传输料盒组件的平行设置的料盒输入传送带,其特征在于,还包括至少两个托起装置;

至少两个所述托起装置沿所述料盒组件的传送方向排列设置在所述料盒输入传送带的下方;且所述托起装置用于升起以将所述料盒组件托离所述料盒输入传送带,或降下以将所述料盒组件放置于所述料盒输入传送带上。

6.根据权利要求5所述的传送装置,其特征在于,所述托起装置包括托板、传动装置以及驱动装置,所述托板通过所述传动装置与所述驱动装置连接,并在所述驱动装置的驱动下可升起或降下。

7.根据权利要求6所述的传送装置,其特征在于,所述驱动装置为气缸或电机或液压装置。

8.根据权利要求6所述的传送装置,其特征在于,所述托板包括至少一平板,且每一所述平板通过所述传动装置与所述驱动装置连接,并在所述驱动装置的驱动下可从料盒输入传送带的两个皮带之间升起或降下。

9.根据权利要求5所述的传送装置,其特征在于,每一所述托起装置上设置有一传感器,所述传感器用于感应所述托起装置的长度范围内被传送所述料盒组件是否到达预设位置,若是,则发送上升控制信息。

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