[发明专利]一种p型高透射率（100）-取向的LaNiO3纳米薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种p型高透射率高（100）- 取向的LaNiO₃薄膜的制备方法，其特征是采用以下步骤：

（1）前驱体溶液的制备：采用溶胶凝胶法，按摩尔比1:1称取硝酸镧和硝酸镍作为溶质，溶于摩尔比1:1混合的水和乙醇中，加入柠檬酸和聚乙二醇，配制成前驱体溶液，溶剂摩尔比水：乙醇：柠檬酸：聚乙二醇为=200：200：2：1，溶液浓度为0.08～0.20mol/L； 

（2）LaNiO₃薄膜材料的制备：采用层层退火工艺，先用旋转涂膜法将前驱体溶液沉积在衬底材料上，然后将材料放置在热板上烘干，将干燥的薄膜置于快速退火炉中热处理，热处理工艺特征在于：在氧气气氛下从350℃以10℃/分钟的速率升温到450℃，450℃预处理10min，再以15℃/分钟的速率升温到600℃，在氮气气氛下退火20分钟，退火温度为600℃～650℃，得到LaNiO₃薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于所制得的LaNiO₃薄膜厚度小于50nm，电阻率为1×10^-4?·cm～2×10^-4?·cm，表面粗糙度不大于1nm。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于衬底材料为石英、玻璃、硅片或者金属薄片，所述金属薄片为Ni片或Cu片。