[发明专利]二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法

权利要求书

1.一种二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，其特征在于将二氧化锗溶于碱性溶液中生成前驱液，在前驱液中加入酸实现酸诱导均相液相沉积生长二氧化锗膜，并经过对二氧化锗膜进行致密化热处理制得，包括如下步骤：

(1)制备二氧化锗沉积液：将二氧化锗粉末溶解到碱性溶液中，充分搅拌后得到二氧化锗质量浓度为1～12％的前驱液；用酸作诱导剂并将其加入到前驱液中搅拌混合均匀，得到二氧化锗沉积液；

(2)生长二氧化锗膜：将二氧化锗沉积液注入石英玻璃管中，石英玻璃管支撑在支架上在转动状态下沉积20～240小时后在管内壁上生长出二氧化锗膜；

(3)二氧化锗膜的致密化热处理：将内壁上有二氧化锗膜的石英玻璃管干燥后进行热处理致密化，制得二氧化锗空芯光波导。

2.根据权利要求1所述的二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，其特征在于前驱液用酸调节pH为0～5。

3.根据权利要求1或2所述的二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，其特征在于石英玻璃管水平转动。

4.根据权利要求1所述的二氧化锗空芯光波导的酸诱导液相沉积制备方法，其特征在于致密化热处理温度为1100～1160℃，时间为10～60分钟。

5.一种权利要求1所述的方法制得的二氧化锗空芯光波导能够传输二氧化碳激光。