[发明专利]一种层流风的压力控制方法

权利要求书

1.一种层流风的压力控制方法，用于调节集成电路制造设备内部微环境的压力，其特征在于，包括以下步骤：

S1：设计压力模糊控制器；

S2：对所述集成电路制造设备内部微环境中测量点与外部环境的差压值信号进行处理，作为所述压力模糊控制器的反馈值；

S3：根据所述反馈值，利用所述压力模糊控制器对所述设备内部微环境的压力进行自动调节。

2.如权利要求1所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S1具体包括：

S11：确定所述压力模糊控制器的结构，使其输入变量为压力偏差和压力偏差的变化率，输出变量为风机转速控制量；

S12：将输入变量和输出变量分别转换为模糊语言变量，设置相应的基本论域、量化因子以及隶属度函数；

S13：确定模糊关系，进行模糊推理，建立模糊控制规则表。

3.如权利要求2所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

S21：设置所述设备内部微环境与外部环境的差压值的测量点；

S22：对所测量的差压值信号进行A/D转换和滤波处理，并对不同测量点得到的差压值信号进行融合，采用最小的差压值作为所述压力模糊控制器的反馈值。

4.如权利要求3所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S3具体包括：

S31：根据所述反馈值计算压力偏差和压力偏差的变化率，并将所述压力偏差和压力偏差的变化率根据所述量化因子和隶属度函数进行模糊化；

S32：根据输入变量的模糊值，查询模糊控制规则表，得到输出变量的模糊值；

S33：按照中心值平均法对输出变量的模糊值进行模糊决策，得到输出量的等级，将所述等级乘以量化因子，得到输出变量的精确值；

S34：对所述输出变量的精确值进行D/A转换，输出模拟电压信号，控制风机转速，进而对微环境的压力进行调节。

5.如权利要求2所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S12中，所述输入变量和输出变量的模糊语言变量的隶属度函数采用对称三角形函数。

6.如权利要求2所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S13中，所述模糊关系采用Mamdani模糊蕴含关系，所述Mamdani模糊蕴含关系为：

其中，e、Δe和u分别为压力偏差、压力偏差变化率和风机转速控制量的精确量，E、ΔE、U分别为所述精确量相对应的模糊语言变量，E_i、ΔE_j、U_ij为所述模糊语言变量相对应的模糊子集，分别为所述模糊子集相对应的隶属度函数；X、Y、Z分别为E、ΔE、U的论域；R_ij为E_i×ΔE_j→U_ij的模糊关系矩阵。

7.如权利要求4所述的层流风的压力控制方法，其特征在于，所述步骤S31中，所述压力偏差为设备内部微环境与外界环境压差的期望值减去所述反馈值之差。