[发明专利]球栅阵列封装结构及封装方法无效
申请号: | 201010599209.6 | 申请日: | 2010-12-21 |
公开(公告)号: | CN102569234A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 王津洲 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 封装 结构 方法 | ||
1.一种球栅阵列封装结构,包括:
基板,具有第一表面和第二表面,所述第一表面与所述第二表面相对;所述第一表面用于承载芯片,所述第二表面上设置有接触焊盘阵列,所述接触焊盘与芯片电连接;分别附着于各接触焊盘上的凸点;其特征在于,所述基板根据离中心点的不同距离分为若干区域,其中离中心点最近的区域内的接触焊盘及凸点尺寸最小,离中心点最远区域内的接触焊盘及凸点尺寸最大。
2.根据权利要求1所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述各区域的凸点的高度一致,直径随着区域离中心点越远而越大。
3.根据权利要求2所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述凸点的材料为共溶锡铅合金、高铅锡铅合金,锡银合金或锡银铜合金。
4.根据权利要求1所述球栅阵列封装结构,其特征在于,基板的尺寸为40mm时,所述离中心点的距离范围为0mm~20mm为第一区域,离中心点的距离为20mm~30mm为第二区域,离中心点的距离为30mm~40mm为第三区域。
5.根据权利要求1至4任一项所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述凸点的高度为290μm~310μm。
6.根据权利要求5所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述第一区域的接触焊盘关键尺寸为260μm~290μm,凸点直径为350μm~370μm;所述第二区域的接触焊盘关键尺寸为290μm~320μm,凸点直径为370μm~390μm;所述第三区域的接触焊盘关键尺寸为320μm~356μm,凸点直径为390μm~410μm。
7.根据权利要求1所述球栅阵列封装结构,其特征在于,基板的尺寸为30mm时,所述离中心点的距离范围为0mm~15mm为第一区域,离中心点的距离为15mm~20mm为第二区域,离中心点的距离为20mm~30mm为第三区域。
8.根据权利要求1或2所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述凸点的高度为240μm~260μm。
9.根据权利要求8所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述第一区域的接触焊盘关键尺寸为240μm~266μm,凸点直径为305μm~321μm;所述第二区域的接触焊盘关键尺寸为266μm~292μm,凸点直径为321μm~337μm;所述第三区域的接触焊盘关键尺寸为292~320μm,凸点直径为337μm~355μm。
10.根据权利要求1所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述接触焊盘之间由介电层隔离。
11.根据权利要求10所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述接触焊盘材料为铜或锡或铅或铜合金或铅锡合金。
12.根据权利要求10所述球栅阵列封装结构,其特征在于,所述介电层材料为陶瓷或苯并环丁烯或聚四氟乙烯。
13.一种形成权利要求1所述球栅阵列封装结构的方法,其特征在于,包括下列步骤:
提供基板,所述基板具有第一表面和第二表面,所述第一表面与所述第二表面相对,所述第一表面用于承载芯片,所述基板根据离中心点的不同距离分为若干区域;
在所述第二表面上形成与芯片电连接的接触焊盘阵列,所述接触焊盘之间通过绝缘层隔离,所述离中心点最近的区域内的接触焊盘尺寸最小,离中心点最远区域内的接触焊盘尺寸最大;
在接触焊盘上形成凸点,离中心点最近的区域内的凸点尺寸最小,离中心点最远区域内的凸点尺寸最大。
14.根据权利要求13所述球栅阵列封装方法,其特征在于,所述凸点的形成方法为金属线焊接法或印刷板方法。
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