[发明专利]玻璃基板运送用容器以及玻璃基板运送台车

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于运送玻璃基板的容器及台车，更具体地说，涉及一种对运送大型玻璃基板特别有效的运送技术，该大型玻璃基板是在制造液晶显示器等设备时作为防尘部件使用的光刻用防尘薄膜组件的制造用基板。

背景技术

在LSI等半导体装置或液晶显示器等设备的制造中，通过光照射将描绘在光掩模上的图案转印到晶片或原板上。若上述光刻法工序所使用的光掩模上附着了微尘或微粒，则这些附着物会吸收曝光用光或使曝光用光折射，结果引起转印图案变形或图案边缘的清晰度降低等，并有影响图案的尺寸、质量以及外观等问题。

鉴于上述问题，与光刻法相关的工序通常是在无尘室内进行，即便如此，要使光掩模始终保持清洁仍很困难。于是，在光掩模表面粘贴防尘薄膜组件，防止微尘或微粒等异物附着在光掩模表面，并使用该状态的光掩模进行曝光。

该场合，异物不直接附着于光掩模的表面，而是附着于防尘薄膜组件上，因此，只要在光刻时将焦点对准在光掩模的图案上，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关。

一般的防尘薄膜组件是这样制成的：将由硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等制成的能良好透光的透明防尘薄膜粘贴或粘接在由铝合金、不锈钢以及聚乙烯等构成的防尘薄膜组件的上端面。另外，在防尘薄膜组件的下端，设置由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯酯树脂、丙烯酸树脂等制成的并被用于将防尘薄膜组件安装到光掩模上的粘着层，以及用于保护该粘着层的离型层(隔离部)。

虽然防尘薄膜组件被贴附到光掩模上之后，有防止异物从外部向光掩模表面附着的效果，但是防尘薄膜组件本身若附着了异物，则担心该异物会附着到光掩模上。因此，防尘薄膜组件本身需要保持清洁，并要求用于制造防尘薄膜的大型玻璃基板也具有高度洁清性。

专利文献：特开2007-250688号公报

由于上述原因，要求保管和运送用于防尘薄膜的制造等的大型玻璃基板的容器具有既能够保持被收纳在其内部的玻璃基板表面的清洁性又不损伤基板的结构。

更具体地说，要求提供一种容器，其由防带电性能优异、摩擦时微尘量少的材料制成，并具有能够最大限度防止基板与构成零件之间接触的结构，而且，还具有被施加外力时能够防止变形的高刚性结构。

然而，以往的基板运送方法是使用安装于基板运送容器的滚轮等进行垂直运送，但是在运送大型玻璃基板时，会由于天花板的妨碍导致无法进行垂直运送等，实际上很难说充分满足了既确保被收纳在基板运送容器内部的大型玻璃基板的清洁性又不损伤基板地进行保管及运送这一要求(例如，参照上述专利文献)。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种运送用容器以及运送用台车，在保管及运送用于光刻用防尘薄膜组件的制造等的大型玻璃基板时，既确保被收纳的大型玻璃基板的清洁性又不对基板造成损伤。

为了解决上述课题，本发明涉及的玻璃基板运送用容器是一条边的长度为1000mm以上，厚度为10mm以上的大型矩形玻璃基板的运送用容器，其特征在于，包括：下部主体和上部主体，所述下部主体呈矩形，其用于载置所述玻璃基板，所述上部主体呈矩形，其与该下部主体嵌合并作为将内部密封的盖；所述下部主体具有设置在周边部的下外框架部、设置在该下外框架部的下嵌合部、设置在四条边的周边部的各个上的基板载置部、设置在该基板载置部的各个上的基板固定部以及回转夹具的安装部，所述安装部是互为相对地设置在所述四条边的各周边部中的两条相对的边的各周边部的夹具安装部，所述回转夹具以连接设置在该相对的周边部的夹具安装部的直线为回转轴，能够使得所述容器从水平面倾斜；所述上部主体具有设有上嵌合部的上外框架部，所述上嵌合部通过与所述下嵌合部嵌合将所述容器内部密封。

本发明优选，具有设置在所述四条边的各周边部中两条邻边的周边部的基板载置部的基板定位部。另外，安装在所述夹具安装部的回转夹具可以是能够安装以及拆卸的形态。

本发明涉及的玻璃基板运送用台车是用于搬运本发明的玻璃基板运送用容器的玻璃基板运送用台车，包括：对安装在所述夹具安装部的回转夹具进行支撑的支撑部，以及用于保持所述容器的主面与水平面形成的倾斜角的倾斜角决定部。

优选本发明的玻璃基板运送用台车能够决定所述倾斜角以水平面为基准为0至90度范围内。

下面说明本发明的效果。