[发明专利]多线切用高粘度液下砂浆泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种砂浆泵，尤其是涉及一种半导体及光伏行业多线切割用高粘度液下砂浆泵。

背景技术

现有多线切割机的砂浆泵，无论是国外进口的或者是国内生产的，结构形式都为由普通的离心泵扩展而来，即叶轮与泵体为同心结构，叶轮为叶片或双面叶片形式，叶轮的离心叶片从电机旋转轴处向外延伸，实际使用中发现，采用该种结构的砂浆泵输送砂浆的能力较弱，一般在85L/min以下，关键是砂浆流量波动幅度较大一般在正负5L/min左右。

而多线切割机设备的使用中，砂浆流量起到非常关键的因素，砂浆流量的不足不仅会导致线网断线率高影响出片率，同时由于砂浆泵输出携砂量小会影响到多线切割无法加大工件进给量，这直接影响工件切割时间，从而影响加工效率。同时，由于砂浆粘度高在工件高速切割过程中会裹挟大量气泡进入砂浆罐，以至于通过砂浆泵输送砂浆时造成砂浆流量不稳定波动较大，进而导致切割硅片出现亮线、崩角等质量问题，影响硅片成品质量，造成不合格品率上升。

发明内容

本发明针对现有技术不足，提出一种适合于多线切割机高粘度砂浆稳定输送的液下砂浆泵。

本发明所采用的技术方案：

一种多线切用高粘度液下砂浆泵，含有砂浆泵壳体和电机，所述电机与砂浆泵壳体一体固定连接，电机输出轴端部伸入砂浆泵壳体内腔并与叶轮中心轴连接，砂浆泵壳体一侧设有砂浆出口，砂浆泵壳体下端设有吸入口盖板，所述砂浆泵壳体内腔与叶轮的外径增压部分为渐开线式腔体，叶轮采用单面离心式结构，其中叶片为自外径方向向内与中心轴呈开放状态分布。

所述的多线切用高粘度液下砂浆泵，在叶轮上端面设至少两个以上的排气孔，以利于剩余气泡从叶轮上方排出。

所述的多线切用高粘度液下砂浆泵，在砂浆泵壳体上部与电机机壳下部的电机输出轴上设有扰流板，以防止砂浆沿电机输出轴进入电机内部。

本发明的有益积极效果：

1、本发明多线切用高粘度液下砂浆泵，输送砂浆的能力强，流量稳定。砂浆泵体与叶轮的外径增压部分设计为渐开线式腔体，叶轮设计为单面离心式，其中叶片为自外径方向向内且不与中心轴封闭，有利于叶轮在高速旋转过程中将砂浆中携裹的气泡从进砂口排出。对于粘度200~300dps，比重1.5~1.8g/cm3的砂浆，可以平稳地达到输送流量100~150L/min，流量波动范围可以稳定在正负1L/min以内。

2、本发明高粘度液下砂浆泵，在叶轮上设计至少2个以上的排气小孔，以利于剩余气泡从叶轮上方排出，同时可以平衡叶轮高速旋转产生的向上轴向力，以提高电机轴承的使用寿命。由于流量的加大和稳定，使多线切割机线网携砂量增加，从而可以将切割进给量从0.31mm/min提高到0.36mm/min，切割效率提高16%以上。由于流量的稳定切割零件的成品率也有大幅度提高。

3、本发明高粘度液下砂浆泵，在电机和叶轮连接的长轴上增加扰流板，可以有效防止砂浆沿旋转轴进入电机损坏电机，有利于提高砂浆泵使用寿命。

附图说明

图1：本发明高粘度液下砂浆泵整体结构示意图；

图2：本发明高粘度液下砂浆泵壳体内腔腔体结构截图；

图3：本发明高粘度液下砂浆泵叶轮结构示意图；

图4：图3所示砂浆泵叶轮剖视图。

具体实施方式

实施例一：参见图1、图2、图3、图4，本发明多线切用高粘度液下砂浆泵，含有砂浆泵壳体4和电机1，所述电机1与砂浆泵壳体4一体固定连接，电机输出轴3的端部伸入砂浆泵壳体内腔10并与叶轮6的中心轴连接，砂浆泵壳体一侧设有砂浆出口7，砂浆泵壳体4的下端设有吸入口盖板5，所述砂浆泵壳体内腔10与叶轮6的外径增压部分为渐开线式腔体，叶轮6采用单面离心式结构，其中叶片8为自外径方向向内与中心轴成开放状态分布。叶片8采用该结构形式，有利于叶轮在高速旋转过程中将砂浆中携裹的气泡从进砂口排出。

实施例二：参见图1、图2、图3、图4，本实施例多线切用高粘度液下砂浆泵，与实施例一不同的是：在叶轮上端面设至少两个以上的排气孔9，排气孔可为3个、4个或5个，以利于剩余气泡从叶轮上方排出。排气孔9的设置，同时可以平衡叶轮高速旋转产生的向上轴向力，有利于提高电机轴承的使用寿命。

实施例三：参见图1、图2、图3、图4，本实施例多线切用高粘度液下砂浆泵，与实施例一或实施例二不同的是：在砂浆泵壳体4上部与电机1机壳下部的电机输出轴上设有扰流板2，扰流板可以防止砂浆沿电机输出轴进入电机内部以损坏电机，有利于进一步提高砂浆泵的整体使用寿命。