[发明专利]实时监控探针测试利用率的方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种实时监控探针测试利用率的方法。

背景技术

探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。对晶圆的测试过程由测试机、探针台等实现，通过探针台上的探针卡实现芯片上每个接脚与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。

探针台种类繁多，从操作上可分为手动、半自动以及全自动探针台；从功能上可分为高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台等。

通常，在半导体测试领域，一个实验室或者企业需要配备多台或多个种类的探针台，以满足不同产品的测试需求。为了提高测试效率，往往希望对这些探针台的使用状态进行监控，然而，目前的监控方式为人工方式，即配备专门的工作人员，不断地到各个探针台前巡视，这不仅浪费人力，而且会影响操作人员的工作，监控效果也不理想。即使，有些探针台制造厂商为其探针台配备了监控系统，可是，其成本较高，需要另外购买，而且对于其他厂商的探针台无法实现兼容，对于整个监控系统的扩展十分不利。为此，如何提供一种有效的探针台实时监控方法实为本领域一重要课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种实时监控探针测试利用率的方法，以解决现有探针台监控效率低下等技术问题。

为解决以上技术问题，本发明提供一种实时监控探针测试利用率的方法，用以监控多个探针台的工作状态，其包括：根据每个探针台的工作状态显示接口数量，为每个探针台配置一监控单元，该监控单元包括微处理器以及分别与该微处理器连接的多个比较器、存储器、通讯接口，其中每个监控单元内的比较器的数量为每个探针台的工作状态显示接口数量；利用多个比较器分别接收其所连接的探针台的多种工作状态信号，并将所接收的信号转换为电平信号；利用存储器存储对应的探针台的信息；利用微处理器将所述电平信号与对应的探针台信息转换为通讯接口对应的通讯协议信号，以通过通讯接口将该通讯协议信号传输给服务端；利用服务端根据所接收的通讯协议信号获取探针台的工作状态。

进一步的，所述服务端包括集线器和工作机，且该方法还包括：利用集线器接收多每个监控单元所传输的通讯协议信号，并将其转换为工作机可以识别的信号；利用工作机从集线器转换的信号中获得对应的探针台信息及其工作状态。

进一步的，所述服务端与所述监控单元之间的信息交换方式为主动询问方式，即：服务端向监控单元发送询问信号，其中所述询问信号内包括一探针台的地址信息；对应于所述询问信号内的探针台的地址信息的监控单元将其获得的探针台工作状态信号转换为通讯协议信号传输给服务端。

进一步的，所述探针台的多种工作状态显示接口为状态指示灯接口。

进一步的，所述探针台的状态指示灯包括红灯、绿灯与黄灯。

进一步的，所述服务端包括显示装置与转换程序，所述转换程序运行将所接收到的探针台工作状态信号转换为对应的指示灯颜色，并根据对应的探针台信息，于显示装置上图形化显示各个探针台的工作状态。

可见，以上方法从探针台的工作状态显示接口引出探针台的各种工作状态信号，并利用比较器将其转换为电平信号，交由微处理器处理，利用微处理器将电平信号与相应的探针台信息转为通讯协议信号传输给远端的服务端，以在远端统一对所有探针台进行监控，避免了人员不断到各个探针台去巡视所带来的效率低下等技术问题。且可以根据不同探针台的工作状态显示接口的不同，设置所需数量的比较器，实现了对不同种类探针台的统一化管理，增加了探针台监控的实时性，进而可以提高探针台的利用率。

附图说明

图1为本发明一实施列所提供的探针测试实时监控系统的结构框图；

图2为本发明一实施列所提供的探针测试实时监控系统的服务端所显示的信息状态；

图3为本发明一实施列所提供实时监控探针测试利用率的方法的流程示意图。

具体实施方式

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举示例性实施例，并配合附图，作详细说明如下。

通常，在半导体测试领域，一个实验室或者企业需要配备多台或多个种类的探针台，以满足不同产品的测试需求。然而，现有技术中却缺乏对这些探针台利用率的有效监控，无法及时了解哪些探针台处于使用状态，哪些探针台处于闲置状态，对于出现故障的探针台难以及时发现，使得整个实验室的探针台利用率无法达到最佳状态，进而使得测试效率下降。