[发明专利]角速度传感器和电子装置

权利要求书

1.一种角速度传感器，包括：

第一振动元件，检测围绕与第一方向平行的轴的第一角速度；

第二振动元件，检测围绕与斜交于所述第一方向的第二方向平行的轴的第二角速度，并且生成与围绕垂直于所述第一方向的第三方向平行的轴的第三角速度相对应的输出信号；以及

支撑基板，支撑所述第一振动元件和所述第二振动元件。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述第三方向在所述第一方向和所述第二方向所属的第一平面上与所述第一方向垂直。

3.根据权利要求2所述的角速度传感器，

其中，所述支撑基板具有与所述第一方向平行的第一表面，所述第一振动元件和所述第二振动元件安装在所述第一表面上。

4.根据权利要求3所述的角速度传感器，

其中，所述第一表面在与所述第一平面垂直的第二平面上。

5.根据权利要求4所述的角速度传感器，进一步包括：

第三振动元件，检测围绕与垂直于所述第一平面的第四方向平行的轴的第四角速度。

6.根据权利要求5所述的角速度传感器，

其中，所述第三振动元件安装在所述支撑基板的所述第一表面上。

7.根据权利要求4所述的角速度传感器，

其中，所述支撑基板包括在所述第一表面内的固定部，所述固定部将所述第二振动元件定位在沿着所述第二方向的检测轴上。

8.根据权利要求7所述的角速度传感器，

其中，所述固定部为形成在所述第一表面中的凹进部，以及

其中，将所述凹进部用于在所述第二振动元件关于所述第二方向倾斜的状态下定位所述第二振动元件。

9.根据权利要求7所述的角速度传感器，

其中，所述固定部包括：

凹槽，形成在所述第一表面中，以及

辅助板，包括与所述凹槽嵌合的连接端部，所述辅助板在所述第二振动元件关于所述第二方向倾斜的状态下支撑所述第二振动元件。

10.根据权利要求1所述的角速度传感器，进一步包括：

第三振动元件，检测围绕与垂直于所述第一平面的第四方向平行的轴的第四角速度。

11.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述第一方向和所述第二方向形成大于等于15度并且小于等于45度的范围和大于等于135度并且小于等于165度的范围之一的范围内的角。

12.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述第一振动元件具有第一检测灵敏度，以及

其中，所述第二振动元件具有高于所述第一检测灵敏度的第二检测灵敏度。

13.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述支撑基板进一步包括第二表面，在所述第二表面上，形成有用于安装至外部基板的表面的多个外部连接端，所述第二表面与所述第一表面相对。

14.根据权利要求1所述的角速度传感器，

其中，所述第一振动元件和所述第二振动元件均包括：振动器，

基底，固定至所述支撑基板并且支撑所述振动器，

驱动部，形成在所述振动器的表面上并且使所述振动器振动，以及

检测部，形成在所述振动体的所述表面上并且检测源于作用在所述振动体上的科里奥利力的振动分量。

15.根据权利要求1所述的角速度传感器，进一步包括：

信号处理电路，基于与由所述第一振动元件所检测到的所述第一角速度相关的信号和与由所述第二振动元件所检测到的所述第二角速度相关的信号，生成与围绕平行于所述第三方向的所述轴的所述第三角速度相对应的输出信号，所述第三方向在所述第一方向和所述第二方向所属的第一平面上垂直于所述第一方向。

16.一种电子装置，包括：

第一振动元件，检测围绕与第一方向平行的轴的第一角速度；

第二振动元件，检测围绕与斜交于所述第一方向的第二方向平行的轴的第二角速度；

支撑基板，支撑所述第一振动元件和所述第二振动元件；以及

信号处理电路，基于与由所述第一振动元件所检测到的所述第一角速度相关的信号和与由所述第二振动元件所检测到的所述第二角速度相关的信号，生成对应于围绕与垂直于所述第一方向的第三方向平行的轴的第三角速度的输出信号。