[发明专利]材料气体浓度控制系统及材料气体浓度控制系统用程序

权利要求书

1.一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统，该材料气化系统具备收容材料的储罐、将使所收容的所述材料气化的载气导入所述储罐的导入管、及从所述储罐导出所述材料气化后的材料气体及所述载气的混合气体的导出管，此材料气体浓度控制系统的特征在于包括：

第1阀，设于所述导出管上；

浓度测定部，测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；

浓度控制部，控制所述第1阀的开度，以使由所述浓度测定部所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；

调温器，进行调温以使所述储罐内的温度达到设定温度；以及

温度设定部，设定所述调温器的设定温度，且

当所述第1阀的开度超过根据可动范围的开放极限开度而定的开放侧阈值开度时，所述温度设定部将设定温度变更为比在此时刻所设定的设定温度更高的温度。

2.根据权利要求1所述的材料气体浓度控制系统，其特征在于，所述阈值是对应于所述第1阀的开度的变化率而变更。

3.一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统，该材料气化系统具备收容材料的储罐、将使所收容的所述材料气化的载气导入所述储罐的导入管、及从所述储罐导出所述材料气化后的材料气体及所述载气的混合气体的导出管，此材料气体浓度控制系统的特征在于包括：

第1阀，设于所述导出管上；

浓度测定部，具备测定所述材料气体的分压的分压测定传感器及测定所述混合气体的总压的总压测定传感器，并根据所述分压和所述总压来测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度；

浓度控制部，控制所述第1阀的开度，以使由所述浓度测定部所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度；

调温器，进行调温以使所述储罐内的温度达到设定温度；以及

温度设定部，对所述调温器设定设定温度，

当由所述分压测定传感器所测定的分压低于根据所述第1阀的可动范围的开放极限开度而定的下限阈值分压时，所述温度设定部将设定温度变更为比在此时刻所设定的设定温度更高的温度。

4.一种材料气体流量控制系统，用于材料气化系统，该材料气化系统具备收容材料的储罐、将使所收容的所述材料气化的载气导入所述储罐的导入管、及从所述储罐导出所述材料气化后的材料气体及所述载气的混合气体的导出管，此材料气体流量控制系统的特征在于包括：

第2阀，设于所述导入管上；

材料气体流量测定部，测定所述材料气体的流量；

材料气体流量控制部，控制所述第2阀的开度，以使由所述材料气体流量测定部所测定的所述材料气体的测定流量达到预定的设定流量；

调温器，进行调温以使所述储罐内的温度达到设定温度；以及

温度设定部，设定所述调温器的设定温度，

当所述第2阀的开度超过根据可动范围的开放极限开度而定的开放侧阈值开度时，所述温度设定部将设定温度变更为比在此时刻所设定的设定温度更高的温度。

5.一种材料气体浓度控制系统用程序，用于材料气体浓度控制系统，此材料气体浓度控制系统用于材料气化系统，该材料气化系统具备收容材料的储罐、将使所收容的所述材料气化的载气导入所述储罐的导入管、及从所述储罐导出所述材料气化后的材料气体及所述载气的混合气体的导出管，

且所述材料气体浓度控制系统具备第1阀、浓度测定部、浓度控制部及调温器，所述第1阀设于所述导出管上，所述浓度测定部测定所述混合气体中的所述材料气体的浓度，所述浓度控制部控制所述第1阀的开度，以使由所述浓度测定部所测定的所述材料气体的测定浓度达到预定的设定浓度，所述调温器进行调温以使所述储罐内的温度达到设定温度，此材料气体浓度控制系统用程序的特征在于包括：

温度设定部，设定所述调温器的设定温度，且

当所述第1阀的开度超过根据可动范围的开放极限开度而定的开放侧阈值开度时，所述温度设定部将设定温度变更为比在此时刻所设定的设定温度更高的温度。