[发明专利]硅片清洗烘干器及多线切割中的断线硅片清洗烘干方法

权利要求书

1.一种硅片清洗烘干器，其特征在于：包括水箱（1），水箱（1）上通过快速接头连接有软管，水箱（1）内部设置有锥形过滤器（2），锥形过滤器（2）的出口依次通过阀门F2、管道泵（3）与电动三通阀F4一个入口端连通；电动三通阀F4另一个入口端与空气加热器（8）连通，空气加热器（8）的进气管（9）上安装有阀门F6，进气管（9）与气源连通；喷淋槽（6）内部沿长度方向两侧设置有喷淋管（7），电动三通阀F4的出口端与喷淋管（7）连通，电动三通阀F4与喷淋管（7）之间的管路上安装有压力表（4）和热电偶温度探头（5）；管道泵（3）、电动三通阀F4、热电偶温度探头（5）、空气加热器（8）均与电气控制柜（12）连接。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗烘干器，其特征在于：所述的电气控制柜（12）还设置有定时器、急停开关、过载保护电路、电流电气控制电路。

3. 根据权利要求1所述的硅片清洗烘干器，其特征在于：所述的水箱（1）配置有限位阀（10），水箱（1）底部设置有安装阀门F1的排污管，水箱（1）与电动三通阀F4之间还连接有阀门F3。

4. 一种多线切割中的断线硅片清洗烘干方法，其特征在于：利用一种硅片清洗烘干器，其结构是：包括水箱（1）上通过快速接头连接有软管，水箱（1）内部设置有锥形过滤器（2），锥形过滤器（2）的出口依次通过阀门F2、管道泵（3）与电动三通阀F4一个入口端连通；电动三通阀F4另一个入口端与空气加热器（8）连通，空气加热器（8）的进气管（9）上安装有阀门F6，进气管（9）与气源连通；喷淋槽（6）内部沿长度方向两侧设置有喷淋管（7），电动三通阀F4的出口端与喷淋管（7）连通，电动三通阀F4与喷淋管（7）之间的管路上安装有压力表（4）和热电偶温度探头（5）；管道泵（3）、电动三通阀F4、热电偶温度探头（5）、空气加热器（8）均与电气控制柜（12）连接，

利用上述装置，按照以下步骤实施：

步骤1）将硅棒提离线网至极限高位置；再将本发明的硅片清洗烘干器推至断线机台，并将喷淋槽（6）对正放置在硅棒正下方；连接喷淋槽（6）排水管线至地沟，打开阀门F5；将挡水板插到喷淋槽（6）内表面四周； 

步骤2）调整硅棒高度，使得上水柱在切割硅片的断线处；用防水布将喷淋槽（6）中的挡水板和工作台封密在一起，防止喷淋时水的外溅；

步骤3）采用快速接头连接软管，给水箱（1）储水；当水箱（1）的水位超过2/3的深度时，开启管道泵（3），开始喷淋清洗断线处的硅片，喷淋时间30-35分钟；

步骤4）关闭管道泵（3），将电动三通阀F4转换至气路，接通空气加热器（8），空气加热器（8）中的电阻丝开始通电加热，热风吹干上步喷淋后的断线处硅片，热风吹干时间10-20分钟；

步骤5）取下喷淋槽（6）与工作台之间的防水布和挡水板，将本发明装置从断线机台处移开，即成。

5. 根据权利要求4所述的断线硅片清洗烘干方法，其特征在于：所述的电气控制柜（12）还设置有定时器、急停开关、过载保护电路、电流电气控制电路。

6. 根据权利要求4所述的断线硅片清洗烘干方法，其特征在于：所述的水箱（1）配置有限位阀（10），水箱（1）底部设置有安装阀门F1的排污管，水箱（1）与电动三通阀F4之间还连接有阀门F3。