[发明专利]光伏电池的制造方法

权利要求书

1.一种光伏电池的制造方法，包括：

提供一光伏电池基板；

进行一纳米压印微影工艺，以露出该光伏电池基板的部分表面，以及

进行一蚀刻工艺于该光伏电池基板露出的部分表面上。

2.根据权利要求1所述的光伏电池的制造方法，其中进行该纳米压印微影工艺的步骤包括：

形成一掩模层于该光伏电池基板上；

提供一模具，该模具具有一预定图案；以及

将该模具的该预定图案转移至该掩模层，并形成一开口于该掩模层中以露出部分该光伏电池基板。

3.根据权利要求1所述的光伏电池的制造方法，其中该蚀刻步骤包括一湿蚀刻工艺及/或一干蚀刻工艺。

4.根据权利要求1所述的光伏电池的制造方法，其中该织构步骤不包括一光微影工艺。

5.一种光伏电池的制造方法，包括：

提供一光伏电池基板；

形成一掩模层于该光伏电池基板上；

以一模具施压至该掩模层中，以形成一图案化掩模层，其中该模具具有一设计图案结构，且该图案化掩模层具有一厚度对比；

自该图案化掩模层移开该模具；以及

以该图案化掩模层作掩模，蚀刻该光伏电池基板以形成一织构化表面于该光伏电池基板中。

6.根据权利要求5所述的光伏电池的制造方法，其中该设计图案结构包括一光栅结构，且该光伏电池基板中的该织构化表面包括一光栅结构。

7.根据权利要求5所述的光伏电池的制造方法，其中该设计图案结构包括一周期性结构，且该周期性结构是一周期性柱状结构、一周期性间隙结构、或一周期性柱状与间隙结构。

8.根据权利要求5所述的光伏电池的制造方法，其中蚀刻该光伏电池基板的步骤包括一湿蚀刻工艺及/或一干蚀刻工艺。

9.一种光伏电池的制造方法，包括：

提供一太阳能电池基板；

形成一掩模层于该太阳能电池基板上；

提供一模具，该模具具有一预定图案结构；

以该模具的该预定图案结构压印该掩模层；

将该预定图案结构自该掩模层转移至该太阳能电池基板，以形成多个沟槽于该太阳能电池基板中；以及

之后自该太阳能电池基板上移除该掩模层。

10.根据权利要求9所述的光伏电池的制造方法，其中该预定图案结构包括多个孔洞的预定分布。