[发明专利]应用于真空制程的连续送料装置

说明书

技术领域

本发明提供一种可有效确保阻隔气体，以利进行料带的真空制程加工，且可减少上、下密封件及侧密封件的磨耗，以提升真空密闭性及使用寿命的应用于真空制程的连续送料装置。

背景技术

软性基板产品通常需结合大气状态下的制程(如涂布、网印等)与真空状态下的制程(如溅镀、薄膜等)，而于各制程的连续生产线中，一般是利用输送装置将基板的料带由大气环境的工作站连续输送至真空制程设备中，以于真空环境下进行加工。

请参阅图1、图2、图3所示，为现有的真空制程设备1，该真空制程设备1的输入端及输出端分别依序连接有相对的多组送料装置10，以供连续输送进入真空制程设备1中进行真空制程加工的料带20，该送料装置10设有具有容槽111的上座11及具有容槽121的下座12，该上座11的容槽111内枢设有上滚轮13，下座12的容槽121内则枢设可由动力源驱动旋转的下滚轮14，并使该上滚轮13及下滚轮14夹抵料带20，以进行连续送料，该上、下座11、12的容槽111、121两侧槽壁上并分别设有可贴抵上、下滚轮13、14环面的第一密封件15，容槽111、121的另两侧槽壁则分别设有可穿伸上、下滚轮13、14轴杆的第二密封件16，并使该第二密封件16贴抵上、下滚轮13、14的端缘，另该下座12于下滚轮14的两侧方分别设有连接至真空泵的通道122、123，以供进行抽气；于进行连续输送料带20时，该送料装置10的一侧连接另一送料装置，即以两个送料装置10的第一密封件15及第二密封件16进行阻隔外部的气体，而于送料装置10的上、下滚轮13、14及另一送料装置10的上、下滚轮13、14间形成一真空辅助腔室101，进而使真空制程设备1的输入端及输出端分别依序由外而内逐渐降压至真空状态，以利真空制程设备1于真空环境下进行料带20的真空制程加工；然而，该送料装置10于使用上，仍有如下的缺弊：

1、该送料装置10于输送料带20时，其上、下滚轮13、14即与第一、二密封件15、16相互摩擦，将使得该第一、二密封件15、16逐渐产生磨耗现象，由于该第一、二密封件15、16分别直接装设固定于该上、下座11、12的容槽111、121各侧槽壁上，并无法进行调整保持贴抵上、下滚轮13、14，而与上、下滚轮13间产生间隙，气体即经由该间隙不断地流入腔室101内，进而影响设备的密封效果。

2、由于该第一、二密封件15、16分别直接装设固定于该上、下座11、12的容槽111、121各侧槽壁上，并无法进行调整贴抵上、下滚轮13、14的压力，因此，若第一、二密封件15、16与上、下滚轮13、14的贴抵压力较大时，将使第一、二密封件15、16加速磨耗，进而大幅降低第一、二密封件15、16的使用寿命。

有鉴于此，本发明人遂以其多年从事相关行业的研发与制作经验，针对目前所面临的问题深入研究，经过长期努力的研究与试作，终究研创出一种应用于真空制程的连续送料装置，并以此大幅改善现有技术的缺弊，此即为本发明的设计宗旨。

发明内容

本发明的主要目的提供一种应用于真空制程的连续送料装置，其是于一本体的两端分别设有供穿置料带的槽道，且于内部架设具上、下滚轮的滚轮组，以供夹抵输送料带，该滚轮组与本体的槽道间并设有密封机构，该密封机构于本体的槽道上方侧壁设有可弹性接抵上滚轮环面的上密封件，且于槽道的下方侧壁设有可弹性接抵下滚轮环面的下密封件，另该槽道的左、右侧方则分别设有侧密封件，并使该两侧密封件可分别弹性贴抵上、下滚轮的端缘及上、下密封件的侧缘，以形成连接抽气装置的真空辅助腔室，而可装设于真空制程设备的输入端及输出端，以进行真空制程的连续输送料带；由此，利用上、下滚轮与本体的槽道间的密封机构，使该上、下密封件及侧密封件可保持适当的压力抵接上、下滚轮，即可有效确保阻隔气体，以利进行料带的真空制程加工，进而达到提升真空密闭性的实用目的。

本发明的次一目的提供一种应用于真空制程的连续送料装置，其中，该密封机构的上、下密封件及两侧密封件连结设有弹力调整组，以使该上、下密封件及侧密封件可保持适当的接抵压力，以减少磨耗，进而达到提升使用寿命的实用目的。