[发明专利]加热控制方法、装置和系统，加热腔及等离子体设备

权利要求书

1.一种加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

检测加热腔的当前温度；

根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；

如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并控制加热装置以所述初始加热温度对所述加热腔进行加热。

2.如权利要求1所述的加热控制方法，其特征在于，还包括：

如果判断所述加热腔未处于冷却状态，则控制所述加热装置根据所述当前温度和设定的目标温度对所述加热腔进行加热。

3.如权利要求1所述的加热控制方法，其特征在于，其中，按照调整步长逐步地提高所述初始加热温度，直至所述初始加热温度等于所述设定的目标温度。

4.如权利要求3所述的加热控制方法，其特征在于，所述调整步长根据所述设定的目标温度计算得到。

5.如权利要求4所述的加热控制方法，其特征在于，所述调整步长T2为T1/N，所述初始加热温度为T2×(I+2)，其中，N为正整数，I为调整次数，T1为设定的目标温度，且(I+2)小于或等于N。

6.一种加热控制装置，其特征在于，包括：

温度检测模块，用于检测加热腔的当前温度；

判断模块，用于根据所述温度检测模块检测的所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；和

控制模块，用于在所述判断模块判断所述加热腔处于冷却状态时，根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并控制加热装置以所述初始加热温度启动对所述加热腔的加热。

7.如权利要求6所述的加热控制装置，其特征在于，所述控制模块还用于在所述判断模块判断所述加热腔未处于冷却状态时，根据所述当前温度和设定的目标温度对所述加热腔进行加热。

8.如权利要求6所述的加热控制装置，其特征在于，其中，还包括初始加热温度调整模块，所述初始加热温度调整模块用于按照调整步长逐步地提高所述初始加热温度，直至所述初始加热温度等于所述设定的目标温度。

9.如权利要求8所述的加热控制装置，其特征在于，所述初始加热温度和所述调整步长根据所述设定的目标温度计算得到。

10.如权利要求9所述的加热控制装置，其特征在于，所述调整步长T2为T1/N，所述初始加热温度为T2×(I+2)，其中，N为正整数，I为调整次数，T1为设定的目标温度，且(I+2)小于或等于N。

11.一种加热控制系统，其特征在于，包括：

加热装置；和

如权利要求6-10任一所述的加热控制装置；

其中，所述加热控制装置用于检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度；

所述加热装置用于根据所述初始加热温度对所述加热腔进行逐步加热。

12.如权利要求11所述的加热控制系统，其特征在于，所述加热控制装置还用于如果判断所述加热腔未处于冷却状态，则控制加热装置根据所述当前温度和设定的目标温度对所述加热腔进行加热。

13.如权利要求11所述的加热控制系统，其特征在于，其中，所述加热装置还用于按照调整步长逐步地提高所述初始加热温度，直至所述初始加热温度等于所述设定的目标温度。

14.如权利要求13所述的加热控制系统，其特征在于，所述调整步长根据所述设定的目标温度计算得到。

15.如权利要求14所述的加热控制系统，其特征在于，所述调整步长T2为T1/N，所述初始加热温度为T2×(I+2)，其中，N为正整数，I为调整次数，T1为设定的目标温度，且(I+2)小于或等于N。

16.一种加热腔，其特征在于，包括：

加热腔本体；

设置在所述加热腔本体之内的多个加热装置；和

控制所述多个加热装置的加热控制装置，所述加热控制装置为权利要求6-10所述的加热控制装置。