[发明专利]一种双变密度盘的可变衰减器

权利要求书

1.一种双变密度盘的可变衰减器，其特征在于：该装置包括第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)、第一伺服电机(2)和第二伺服电机(7)、第一电机轴(9)和第二电机轴(10)、第一编码器(1)和第二编码器(8)、第一限位开关(4)和第二限位开关(6)，第一变密度盘(3)与第二变密度盘(5)同轴且端面平行布置，第一变密度盘(3)上设置有第一限位开关(4)，第二变密度盘(5)上设置有第二限位开关(6)，所述的第一限位开关(4)和第二限位开关(6)分别布置在第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的全透光扇区中，第一伺服电机(2)的轴和第二伺服电机(7)的轴分别垂直于第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的端平面，所述第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)分别采用互补对称结构的变密度盘旋转，入射光通过第一变密度盘(3)后引起的能量不均匀性会被第二变密度盘(5)修正，同时第一变密度盘(3)的透过率会被第二变密度盘(5)细分，从而提高能量衰减分辨力。

2.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第一变密度盘(3)的透过率顺时针渐增分布包括：第一A扇区(31)是不透光扇区，第一B扇区(32)是全透过扇区，第一C扇区(33)是透过率渐增区，第一C扇区(33)的互补对称结构是透过率按顺时针透过率从0％到100％递增。

3.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第二变密度盘(5)的透过率逆时针渐增分布包括：第二A扇区(51)是不透光扇区，第二B扇区(52)是全透过扇区，第二C扇区(53)是透过率渐变区，第二C扇区(53)的互补对称结构是透过率按逆时针透过率从0％到100％递增。

4.根据权利要求2和3所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的全透光扇区为重合布置，第一变密度盘(3)和第二变密度盘(5)的端面间夹角为0°。

5.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第一变密度盘(3)与第一伺服电机(2)共轴，并且第一变密度盘(3)固定在第一电机轴(9)上。

6.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第二变密度盘(5)与第二伺服电机(7)共轴，并且第二变密度盘(5)固定在第二电机轴(10)上。

7.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第一编码器(1)与第一伺服电机(2)共轴，第一电机轴(9)相对于第一编码器(1)转动。

8.根据权利要求1所述的可变衰减器，其特征在于：所述的第二编码器(8)与第二伺服电机(7)共轴，第二电机轴(10)可以相对于第二编码器(8)转动。