[发明专利]激光能量检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种激光能量检测系统，其特征在于：其包括旋光器、偏振光分束器和光导器，所述旋光器用于接受外部输入激光并控制外部输入激光的偏振态，所述偏振光分束器用于将所述旋光器输出的外部输入激光分解为偏振态相异的工作激光和检测激光，所述光导器用于导出所述检测激光。

2.如权利要求1所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述偏振光分束器包括第一端口、第二端口、第三端口，所述第一端口用于从所述旋光器输入偏振态激光，所述第二端口和所述第三端口分别输出偏振方向相互垂直的工作激光和检测激光。

3.如权利要求2所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导器为光导棱镜，包括第一端口和第二端口，所述光导棱镜的第一端口用于从所述偏振光分束器的第三端口导出检测激光，并通过光导棱镜的第二端口导出检测激光。

4.如权利要求3所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导棱镜为等边直角棱镜，其第一端口和第二端口分别设置所述等边直角棱镜的二直角面上，其斜面用于全反射检测激光，并从所述第二端口出射。

5.如权利要求4所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述光导棱镜的第一端口所在的直角面贴合于所述偏振光分束器的第三端口所在的端面。

6.如权利要求1或5所述的激光能量检测系统，其特征在于：进一步包括激光能量测量装置，用于测量外部输入激光的初始能量、测量所述光导器导出的检测激光的初始能量和实时能量。

7.如权利要求1所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述检测激光的能量小于所述外部输入激光能量的1％。

8.如权利要求6所述的激光能量检测系统，其特征在于：所述工作激光的实时能量满足方程：I_E＝I₀*I/I₁，其中，I_E为工作激光的实时能量，I₀为外部输入激光的初始能量，I为检测激光实时能量，I₁为检测激光的初始能量。

9.一种激光能量检测方法，包括步骤：

通过激光能量测量装置测量外部输入激光的初始能量；

通过旋光器调整外部输入激光的偏振态；

通过偏振光分束器分解外部输入激光为检测激光和工作激光；

通过光导器导出检测激光；

通过激光能量测量装置测量导出的检测激光的初始能量和实时能量；

根据外部输入激光的初始能量、检测激光的初始能量和实时能量，得到工作激光的实时能量。

10.如权利要求9所述的激光能量检测方法，其特征在于：所述工作激光的实时能量满足方程：I_E＝I₀*I/I₁，其中，I_E为工作激光的实时能量，I₀为外部输入激光的初始能量，I为检测激光实时能量，I₁为检测激光的初始能量。