[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，其具备压电基板、和在所述压电基板上形成的IDT电极，

所述IDT电极由将多个金属膜层叠而成的层叠金属膜构成，该层叠金属膜具有由Al或Al基合金构成的第一金属膜、由与所述第一金属膜不同的金属或合金构成的第二金属膜、以及配置于所述第一、第二金属膜间的Cu膜及Ti膜，

Cu膜及Ti膜中的Cu膜配置于第一金属膜侧。

2.如权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述Al基合金将Al作为主体，含有选自Cu、Si、Mg、Ti、Ag、Ni、Zn、Au及Cr中的至少一种金属。

3.如权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述第二金属膜由选自Pt、Au、Ag、Ta、W、Mo、Pd、Ni及Cr中的至少一种金属或将该金属作为主体的合金构成。

4.如权利要求1～3中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述Ti膜的膜厚相对于弹性波的波长的波长比在1.5％以下。

5.如权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其为弹性表面波元件。

6.如权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

还具备以覆盖所述IDT电极的方式设置的电介质层，其为利用在该电介质层和压电基板的界面之间传播的弹性界面波的弹性界面波装置。