[发明专利]一种晶体最佳匹配角自动测量系统和方法无效
| 申请号： | 201010606231.9 | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102095388A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 范勇;徐旭;王俊波;陈念年;张劲峰 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 最佳 配角 自动 测量 系统 方法 | ||
1.一种晶体最佳匹配角自动测量系统，其特征在于，包括，光路子系统、运动控制子系统和数据处理子系统；光路子系统包括，脉冲激光器，分光镜A，分光镜B，反射镜A，潜望镜A，潜望镜B，反射镜B，分光镜C，光路子系统原理为：在脉冲激光器发出激光后，由分光镜A将入射光束分为两束：一束入射到功率计A上；另一束光经过分光镜B和反射镜A后入射到潜望镜A，光束经过被测晶体后入射到潜望镜B上，经过潜望镜B反射后入射到放置在被测晶体后的功率计B上，潜望镜A和B由运动控制子系统驱动实现同步二维扫描运动，运动控制子系统同时还用于控制被测晶体的旋转、潜望镜A和B中的反射镜的微角度驱动；所述数据处理子系统主要用于监测功率计A和B的功率计量读数、对通过CCD获取的激光光斑图像进行质量分析、对激光自准直仪A和晶体自准直仪B的准直数据进行采集。
2.根据权利要求1所述的晶体最佳匹配角自动测量方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)测量准备：搭建光路，并检测运动平台的运动控制、晶体调整架运行、CCD图像采集、自准直仪和功率计是否运行正常，若异常，需调试或维修以达到正常水平；并将被测晶体上架，并调整到测试位置；设置参数；
(2)光路准直：通过采集晶体自准直仪B的数据，由运动控制子系统驱动被测晶体调整位置，以确保被测晶体和大口径标准晶体的姿态一致；通过采集激光自准直仪A的数据，微驱动潜望镜A和B中的反射镜，以达到入射激光垂直于晶体表面；
(3)晶体全自动多点扫描测量：对每个测量点采集5对有效数据，按预设置的处理规则计算该点的最佳匹配角；
(4)计算被测晶体m×n点阵最佳匹配角的统计平均值
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