[发明专利]红外线传感器及红外线传感器模块

权利要求书

1.一种红外线传感器，其特征在于，具有：

第1基板，其具有被减压密封的空腔部，并透射红外线；

检测部，其设置在该第1基板上的从外部入射红外线一侧的相反侧，接收通过所述空腔部的红外线而产生输出变化；

第2基板，其具有凹部和反射面，并层叠在所述第1基板上，所述凹部与所述第1基板之间形成包围所述检测部的减压空间，所述反射面构成为能够将没有被所述检测部接收而通过所述第1基板的红外线朝向所述检测部反射并会聚；以及

运算电路，其设置在该第2基板上的隔着所述反射面与所述检测部相对的位置上，对所述检测部的输出进行放大或积分。

2.根据权利要求1所述的红外线传感器，其特征在于，

所述空腔部形成为在层叠了所述第2基板一侧的面上开口的空腔部，

所述空腔部和所述减压空间是通过在减压环境下对所述第1基板和所述第2基板进行层叠粘接而减压密封的。

3.根据权利要求1或2所述的红外线传感器，其特征在于，所述红外线检测部和所述运算电路通过在层叠方向上贯通所述第2基板的布线而被连接。

4.根据权利要求3所述的红外线传感器，其特征在于，至少具有两个所述布线。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的红外线传感器，其特征在于，

具有多个所述检测部，并且

与多个所述检测部对应地具有多个所述运算电路。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的红外线传感器，其特征在于，所述运算电路形成在所述第2基板上的层叠了所述第1基板的面的相反侧的面上。

7.根据权利要求1至5中的任意一项所述的红外线传感器，其特征在于，

具有第3基板，所述第3基板相对于所述第2基板层叠在所述第1基板的相反侧上，

所述运算电路形成在所述第3基板上。

8.一种红外线传感器模块，其特征在于，具有：

如权利要求1～7中的任一项所述的红外线传感器；以及

收纳有该红外线传感器的壳体。