[发明专利]镀膜件及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜件及其制造方法。

背景技术

过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物具有高硬度、高抗磨损性能和良好的化学稳定性等优异性能。因此，通常将过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物以薄膜的形式镀覆于3C电子产品的壳体、眼睛框及建筑件等产品表面，以此来提高产品的使用寿命。

但是此类镀膜件的制造过程中，由于硬质膜层与基体间的热膨胀系数相差较大，且不同组分的膜层的成份和结构有明显的变化，膜层间存在不可避免的热应力，晶格匹配带来的内应力，这些应力在薄膜制造完成后往往不能消除，因而膜层与基体结合力较差，薄膜在使用过程中容易发生剥离，从而影响了此类镀膜件的使用寿命及其应用范围。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种有效解决上述问题的镀膜件。

另外，还有必要提供一种制造上述镀膜件的方法。

一种镀膜件，其包括基体及形成于基体表面的打底层，该镀膜件还包括形成于打底层表面的梯度膜层，该打底层为镍铬合金层，该梯度膜层为镍铬硼氮层。

一种镀膜件的制造方法，其包括如下步骤：

提供基体；

采用镍铬合金靶为靶材，在基体表面形成打底层，该打底层为镍铬合金层；

以氮气为反应气体，采用镍铬合金靶及硼靶为靶材，在打底层的表面进行共溅射形成梯度膜层，该梯度膜层为镍铬硼氮层。

本发明镀膜件在基体的表面沉积镍铬合金层作为打底层，再在打底层的表面沉积镍铬硼氮层作为梯度膜层，膜系逐层过渡较好，膜层之间的结合力较好且膜层内部没有明显的应力产生，这样在施加外力的情况下，所镀的膜层不会因为结合力不佳和/或内部的应力缺陷导致失效，有效地提高了镀膜件的硬度及耐磨性，从而提高镀膜件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明实施例镀膜件的剖视图；

图2为制造图1中镀膜件所用真空镀膜机的示意图。

主要元件符号说明

镀膜件        10

基体          11

打底层        13

梯度膜层      15

镀膜机        100

镀膜室        20

真空泵        30

轨迹          21

第一靶材      22

第二靶材      23

气源通道      24

具体实施方式

请参阅图1，本发明一较佳实施例的镀膜件10包括基体11、形成于基体11表面的打底层13及形成于打底层13表面的梯度膜层15。

该镀膜件10为3C电子产品的壳体、眼睛框及建筑件等。

该基体11为含有Ni、Cr中至少一种元素的不锈钢。

该打底层13可以磁控溅射的方式形成。该打底层13为镍铬(NiCr)合金层。该打底层13的厚度可为100～300nm。

该梯度膜层15可以磁控溅射的方式形成。该梯度膜层15为镍铬硼氮(NiCrBN)层。所述梯度膜层15中氮元素的的质量百分含量由靠近打底层13至远离打底层13的方向呈梯度增加。该梯度膜层15的厚度可为1～4μm。

所述梯度膜层15中镍元素的质量百分含量为20％～30％，铬元素的质量百分含量为30％～45％，硼元素的质量百分含量为5％～10％，氮元素的质量百分含量为20％～40％。

本发明较佳实施例的镀膜件10的制造方法，其包括以下步骤：

提供基体11，将基体11放入盛装有无水乙醇或丙酮溶液的超声波清洗器中进行震动清洗，以除去基体11表面的杂质和油污。清洗完毕后烘干备用。

请参阅图2，提供一真空镀膜机100，将所述基体11置于该真空镀膜机100的镀膜室20内进行氩气等离子体体清洗，以进一步去除基体11表面的油污，以及改善基体11表面与后续涂层的结合力。