[发明专利]一种三氯氢硅生产尾气粉尘处理的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种生产三氯氢硅的方法及其设备，具体讲，涉及一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理方法及其设备。

背景技术

三氯氢硅是一种用途广泛的有机硅单体，主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料，广泛用于国防、国民经济乃至人们日常生活的各个领域，三氯氢硅还是生产硅烷偶联剂和其他有机硅化合物的重要原料。

由于环境保护的需要，需要对三氯氢硅生产过程中产生的废气进行处理，可减少污染，而且对废气中的个组分进行回收再利用，不仅使企业降低了生产成本，而且减少了污染物的排放，并将污染物转化为经济价值更高的产品，进一步为企业增加了利润，提高经济效益。在国家淘汰落后产能的潮流下，对企业废弃物的排放的要求将愈发严格，废弃物的控制和处理方法上的创新会为企业赢得了先机。

在三氯氢硅生产过程中，其产生的尾气中经过冷凝处理后，尾气中仍还有少量的三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢和未反应完的硅粉，现有技术中一般将尾气经过一个袋式过滤器拦截粉尘，然而由于硅粉的粉尘颗粒细小，空隙率较大，粉尘中还会混有一定量的氯化氢气体，具有强烈的氯化氢气味，如果将该粉尘如果不进行进一步的处理，会造成大气的污染，为此，本发明提出了以下技术方案。

发明内容

本发明的首要目的在于提供一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理方法。

本发明的第二发明目的在于提供这种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理设备。

为实现本发明的发明目的，采用的技术方案为：

本发明涉及一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理方法，所述的三氯氢硅生产过程中的尾气和粉尘的混合物经袋式过滤器处理后，所截留的粉尘再通过两步袋式过滤器处理，所述的处理粉尘的袋式过滤器中，设置有至少一个布袋吹管吹出氮气，所述布袋吹管由设置在过滤器底部或顶部的主管、安装于主管上并平行于滤袋与滤袋之间的分管以及设置在每个分管上的至少一个喷嘴组成；袋式过滤器的粉尘入口处设置至少一个粉尘吹管，粉尘吹管吹出氮气，粉尘被吹散后沉积到袋式过滤器的底部，再进入到第三袋式过滤器，拦截下来的粉尘干燥、包装得到成品。

三氯氢硅合成炉中的废气和粉尘的混合物先经过过滤装置，所截留的粉尘再通过本发明的两步袋式过滤器处理，粉尘进入第一袋式过滤器，被粉尘入口处设置至少一个粉尘吹管吹出的氮气吹散后沉积到袋式过滤器的布袋上和第一袋式过滤器的底部，通过布袋吹管将沉积到布袋上的粉尘吹落到第一布袋过滤器底部；收集得到的粉尘再进入到第二袋式过滤器，再经过相同的处理，将最后收集得到的粉尘干燥、包装得到成品。

本发明的第一优选技术方案为：所述布袋过滤器中的粉尘吹管设置有2～8个氮气吹嘴，其中所吹氮气的压强为0.2～0.4MPa。

本发明的第二优选技术方案为：在三氯氢硅生产过程中，在袋式过滤器中，由设置在滤袋与滤袋之间的吹管吹出氮气，吹氮气的时间为1～15秒，脉冲氮气的吹入频率为1～60次/小时，其中所吹氮气的压强为0.2～0.4MPa。喷嘴吹出氮气的角度为与水平线呈15～75度角，优选15～60度角。

本发明的第三优选技术方案为：在袋式过滤器内设置有氨气吹管，粉尘通过设置在过滤器内的氨气吹管吹入氨气，氨气与氯化氢反应完闭后直接由第一袋式过滤器排出或进入到第二袋式过滤器。

本发明的第四优选技术方案为：所述的袋式过滤器中吹入氨气时，通过袋式过滤器内设置的化学感应器监测反应进程，完闭后直接由袋式过滤器排出或进入到第二袋式过滤器。

本发明的第五优选技术方案为：所述的化学感应器感应到氯化氢的含量为1～50ppm、氨气的含量为1～50ppm时，袋式过滤器直接将收集的粉尘直接排出。

本发明的第六优选技术方案为：第二袋式过滤器拦截得到的粉尘的干燥条件为70～85℃

为实现本发明的第二发明目的，采用的技术方案为：

本发明还涉及一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理设备，所述的设备含有两个袋式过滤器，所述袋式过滤器中设置至少一个布袋吹管，所述布袋吹管由设置在过滤器底部或顶部的主管、垂直安装与主管上位于滤袋与滤袋之间的分管以及每个分管上设置的至少一个喷嘴组成，所述袋式过滤器中的粉尘入口处设置有至少一个粉尘吹管。

本发明的第一优选技术方案为：所述的布袋吹管的各分管与主管连接处设置有电磁阀，所述的分管的高度为布袋底端到顶端的1/2到上1/3处，所述分管上垂直均匀分布有2～5个喷嘴。

本发明的第二优选技术方案为：所述第一袋式过滤器和第二袋式过滤器之间通过折管连接或者通过传送装置连接。