[发明专利]工艺数据的获取、存储方法和装置以及工艺数据处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种工艺数据的获取方法及装置、一种工艺数据的存储方法及装置以及一种工艺数据处理系统。

背景技术

随着单个工艺技术的发展，以及工艺过程的日趋复杂、系统化程度越来越高，工艺过程自动化控制技术也应用得更加广泛。目前较为通用的一种工艺过程自动化控制技术为Recipe技术。

Recipe即工业自动化制造中的秘方，其内容包含工艺过程中的多个步骤，以及各个步骤中的各种工艺参数值和本步骤持续时间。在自动化生产过程中，生产线设备可以依据Recipe的内容完成对物料的加工，产品的质量可通过调整Recipe来改进，所以一个先进的Recipe对提升产品价值有着非常重要的作用，尤其是在半导体生产业。

生产线设备的控制架构涉及上位机程序与下位机程序的交互，对Recipe的管理就实现在下位机程序中，Recipe的工艺数据保存为XML文件，统一存放在下位机上。用户通过上位机程序的操作界面可以进行查看Recipe、编辑Recipe、保存Recipe、导出Recipe等操作。在已有的Recipe操作技术中，如果用户都是通过上位机程序进行Recipe的操作，那么对于工厂的生产线而言是一种安全的可控的行为，因为用户都是经过权限验证，并且相关的操作都会形成日志记录，一旦发生重要Recipe工艺参数泄露问题可以依据日志追查，进而保证工厂的核心生产加工数据的安全。

但是，如果有用户不通过上位机程序而是直接登录到下位机，通过磁盘拷贝、网络拷贝等方式即可轻松地获取所有Recipe的XML文件。由于目前已有的工艺数据XML文件中的数据是以明文形式存在的，一旦XML文件被拷贝，一些关键的工艺数据，如工艺配方数据无需经过处理很容易就被获得。对于现有的Recipe管理方式来说，无法避免这类问题的发生，从而造成很大的安全隐患。

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够创新地提出一种工艺数据的获取机制，用以保证工艺数据，特别是关键的工艺数据的安全性。

发明内容

本发明提供一种工艺数据的存取方法、装置以及一种工艺数据处理系统，用以保证工艺数据，特别是关键的工艺数据的安全性。

为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种工艺数据的获取方法，包括：

依据工艺数据获取请求，查找对应的工艺数据文件；

解析所述工艺数据文件，若所述工艺数据文件中存在工艺参数值密文，则按照预置的解密规则对所述工艺参数值密文进行解密，以获得工艺参数值明文。

优选的，所述工艺数据获取请求为，上位机向下位机发送的用户指定工艺数据的获取请求，由下位机执行所述查找工艺数据文件和解析工艺数据文件的操作；所述的方法还包括：

上位机依据用户提交的工艺数据查看请求，发起对用户的鉴权；

在对用户鉴权通过后，上位机向下位机发送用户指定工艺数据的获取请求。

优选的，所述按照预置解密规则对工艺参数值密文进行解密的步骤包括：

下位机获得解密密钥，所述解密密钥依据上位机信息和下位机信息生成；

利用所述解密密钥对工艺参数值密文进行解密，获得工艺参数值明文。

优选的，所述解密密钥为，将所述上位机信息和下位机信息按顺序组合成的密钥字符串；

或为，采用加解密算法对所述上位机信息和下位机信息进行计算产生的密钥字符串。

优选的，所述利用解密密钥对工艺参数值密文进行解密的步骤进一步包括：

针对所述工艺参数值密文采用特定加解密算法，用所述解密密钥进行解密，获得数字字符串；

将所述数字字符串解析成值，以获得工艺参数值明文。

优选的，所述的方法，还包括：

所述下位机保存从所述工艺数据文件解析获得的工艺数据，并在所述上位机展示所述工艺数据。

优选的，所述工艺数据为Recipe的工艺数据，所述上位机向下位机发送的工艺数据获取请求中包括Recipe的ID；

所述下位机依据所述请求查找对应的工艺数据文件的步骤进一步包括：

所述下位机依据工艺数据获取请求中Recipe的ID，在Recipe名字空间查找到指定的管理态Recipe；

根据所述管理态Recipe获得工艺数据文件的绝对存储路径。

优选的，所述工艺参数值为，Recipe每个步骤step中的工艺参数值；所述工艺数据文件为XML文件。