[发明专利]流体供给系统、流体储存和分配系统及供给流体的方法

权利要求书

1.一种流体供给系统，包括：

基于衬件的流体储存和分配包装，所述包装包括适于容纳流体的衬件；

气体源，所述气体源布置成从外部施加气体压力于所述衬件上，用于以压力为媒介从所述衬件分配流体；以及

下述构件(a)和(b)之一：

(a)压力传感器和处理器，其中，所述压力传感器适于感测从所述衬件分配的流体的压力，并产生指示所述压力的传感器输出，并且所述处理器适于接收所述传感器输出并确定所述流体的压力变化率；以及

(b)监视器，所述监视器适于监控从所述衬件分配的流体的压力变化率。

2.根据权利要求1所述的流体供给系统，包括压力传感器和处理器，其中，所述压力传感器适于感测从所述衬件分配的流体的压力，并产生指示所述压力的传感器输出，并且所述处理器适于接收所述传感器输出并确定所述流体的压力变化率。

3.根据权利要求1所述的流体供给系统，包括监视器，所述监视器适于监控从所述衬件分配的流体的压力变化率。

4.根据权利要求2所述的流体供给系统，其中，所述处理器设置成对从所述衬件分配的流体以及对分配出的流体的应用进行控制。

5.根据权利要求2所述的流体供给系统，其中，所述处理器设置成控制以下中的至少一个：(i)由所述气体源供给的气体的流率；(ii)在被设置成接收从所述衬件分配的流体的流体使用装置处的流体处理；(iii)在所述衬件和被设置成接收从所述衬件分配的流体的流体使用装置之间连接的流动线路中的一个或多个阀；以及(iv)在所述衬件和被设置成接收从所述衬件分配的流体的流体使用装置之间连接的流动线路中的一个或多个泵。

6.根据权利要求3所述的流体供给系统，其中，所述监视器适于探测指示从所述衬件开始排尽流体的压力下降状况。

7.根据权利要求6所述的流体供给系统，其中，所述监视器包括：(i)压力传感器，被设置成监控从所述衬件分配的流体的压力；以及(ii)处理器，可操作地连接至所述传感器，以接收所述压力传感器的输出信号并处理所述输出信号，从而探测指示从所述衬件开始排尽液体介质的所述压力下降状况并输出指示所述压力下降状况的信号。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的流体供给系统，进一步包括过滤器，所述过滤器设置成用于对从所述衬件分配的流体进行过滤。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的流体供给系统，与流动线路连接，用于将从所述包装中的衬件分配的流体输送至用于半导体或微电子器件制造的处理工具。

10.根据权利要求9所述的流体供给系统，进一步包括处于所述流动线路中的分配泵。

11.一种从可折叠衬件向使用位置供给流体的方法，所述衬件承受施加的外部压力，以实现从所述衬件分配流体，所述方法包括：监控作为时间的函数的所分配流体的压力；以及确定压力-时间函数的斜度下倾，作为从所述衬件开始排尽流体的指示。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述确定压力-时间函数的斜度下倾指示从所述衬件预定接近排尽流体。

13.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：当达到所述预定接近排尽状态时，输出警告。

14.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：当达到所述预定接近排尽状态时，启动转换操作以从另一衬件继续进行分配。

15.根据权利要求12所述的方法，进一步包括：当达到所述预定接近排尽状态时，以与所述衬件中的剩余流体总量相应的方式更改分配操作。

16.根据权利要求11所述的方法，进一步包括：响应所述斜度下倾的确定，准备用于分配操作的另一基于衬件的流体储存和分配包装。

17.根据权利要求16所述的方法，进一步包括：接入所述另一基于衬件的流体储存和分配包装，以实现向所述使用位置的连续分配。

18.根据权利要求11至17中任一项所述的方法，其中，将从所述衬件分配的流体泵送到被设置成从所述衬件接收流体的分配流体流动线路中，并将所述流体从所述流动线路输送至所述使用位置。

19.根据权利要求18所述的方法，其中，由计量泵来实现所述泵送。