[发明专利]一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵

权利要求书

1.一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，它包括超声波传播腔槽(1)、上盖板(2)、下盖板(3)、毫米级蜂窝毛细管管组(4)和超声振子(5)；其特征在于：所述超声波传播腔槽(1)由槽体(1-1)和底板(1-2)组成，底板(1-2)设置在槽体(1-1)的下部，槽体(1-1)的上部开有进出孔(1-3)，所述上盖板(2)固定安装在超声波传播腔槽(1)的上端面上，所述下盖板(3)固定安装在超声波传播腔槽(1)的下端面上，槽体(1-1)、底板(1-2)与上盖板(2)之间形成第一腔室(7)，槽体(1-1)、底板(1-2)与下盖板(3)之间形成第二腔室(8)，所述毫米级蜂窝毛细管管组(4)的上端穿过上盖板(2)露在外面，且毫米级蜂窝毛细管管组(4)与上盖板(2)固定连接，毫米级蜂窝毛细管管组(4)的下端置于第一腔室(7)内，且毫米级蜂窝毛细管管组(4)的下端面与底板(1-2)的上端面之间留有间隙，所述超声振子(5)设置在第二腔室(8)内，且超声振子(5)固定安装在底板(1-2)的下端面上，超声振子(5)与毫米级蜂窝毛细管管组(4)上下对应设置，超声振子(5)的下端悬置于第二腔室(8)内。

2.根据权利要求1所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：超声波传播腔槽(1)由钛合金材料制成。

3.根据权利要求1或2所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：上盖板(2)由钛合金材料制成。

4.根据权利要求3所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：下盖板(3)由钛合金材料制成。

5.根据权利要求4所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：毫米级蜂窝毛细管管组(4)由玻璃、铝或者聚合物制成。

6.根据权利要求1、2、4或5所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：上盖板(2)通过螺栓(9)固定安装在超声波传播腔槽(1)的上端面上，所述下盖板(3)通过螺栓(9)固定安装在超声波传播腔槽(1)的下端面上。

7.根据权利要求6所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：螺栓(9)由不锈钢材料制成。

8.根据权利要求1所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：槽体(1-1)和底板(1-2)制成一体。

9.根据权利要求7所述的一种毫米级蜂窝毛细管超声微泵，其特征在于：超声微泵还包括胶圈(6)，胶圈(6)固定安装在超声振子(5)的下端面上。