[发明专利]功率半导体模块以及操作功率半导体模块的方法有效
申请号: | 201010610706.1 | 申请日: | 2010-11-19 |
公开(公告)号: | CN102136469A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | H·哈通;D·西佩 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/488;H01L23/29;H01L23/15;H01L21/60;H01L21/98;H01L21/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 李娜;李家麟 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功率 半导体 模块 以及 操作 方法 | ||
1.一种功率半导体模块,包括:
-电路载体(2),其包括具有顶面(20t)的绝缘载体(20),金属化层(22)设置在所述顶面上;
-功率半导体芯片(8),其设置在金属化层(22)的背离电路载体(2)上的绝缘载体(20)的那一面上,并在其背离电路载体(2)的顶面(8t)上具有上部芯片金属化物(82),所述上部芯片金属化物由具有大于或等于1μm的厚度(d82)的铜或铜合金构成;
-电连接导体(85),其由铜或铜合金构成,并且在连接位置(8c)处连接到上部芯片金属化物(82);
-封装化合物(5),所述封装化合物
-从电路载体(2)延伸到至少在功率半导体芯片(8)的背离电路载体(2)的那一面之上,并完全覆盖所述面;
-至少在连接位置(8c)的区域中包围所述连接导体;
-依照DIN ISO 2137在25℃的温度下具有小于或等于30的穿透率。
2.如权利要求1所述的功率半导体模块,其中,连接导体(85)由纯铜、至少90重量%的铜、至少99重量%的铜或至少99.9重量%的铜构成。
3.如权利要求1或2所述的功率半导体模块,其中,连接导体(85)被具体实施为接合线。
4.如权利要求1或2所述的功率半导体模块,其中,连接导体(85)被具体实施为带状物或金属线夹。
5.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,封装化合物(5)由以下灌封材料之一形成:
-一组分的灌封材料;
-二组分的灌封材料;
-硅凝胶;
-具有内部助粘剂的二组分的苯基硅凝胶;
-硅树脂;
-环氧树脂。
6.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,绝缘载体(20)被具体实施为陶瓷薄层。
7.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,连接导体(85)和至少部分地被封装化合物(5)覆盖的功率半导体模块的任何其他连接导体由权利要求2中提到的一种材料形成。
8.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,封装化合物(5)依照DIN ISO 2137在25℃的温度下具有大于或等于10的穿透率。
9.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,连接导体(85)在连接位置(8c)处被接合或焊料焊接或被导电地粘性接合至功率半导体芯片(8)的背离电路载体(2)的那一面。
10.如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,提供一个或多个连接导体(85),每个连接导体(85)在位于上部芯片金属化物(82)上的相应连接位置(8c)处被导电接合或焊料焊接或导电粘性接合至功率半导体芯片(8)的背离电路载体(2)的那一面,其中所有所述连接导体(85)的导体截面的总和至少为0.75mm2。
11.一种方法,用于操作如前述权利要求中的任一项所述的功率半导体模块,其中,功率半导体芯片(8)以至少20秒的持续时间工作在不低于150℃的结温度下。
12.如权利要求11所述的方法,其中,功率半导体芯片(8)以至少10秒的持续时间工作在不低于160℃的结温度下。
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