[发明专利]一种纳米级微小位移测量装置

权利要求书

1.一种测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：包括时序及充电电路、传感电路、积分及放大电路、差分采样电路以及滤波电路，上述电路顺序电连接，其中：

时序及充电电路，产生传感电路所需的充电脉冲及差分采样电路所需的时序信号；

传感电路，接收微小位移信号，输出相应的微小电流信号至积分及放大电路；

积分及放大电路，接收微小电流信号，输出电压信号至差分采样电路；

差分采样电路，对积分及放大电路输入的电压信号进行差分处理；

滤波电路，对经过差分处理后信号进行滤波处理，得到最后的检测信号。

2.按权利要求1所述的测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：所述传感电路包括时序单元和信号探测单元，其中时序电路产生高频驱动脉冲经跟随及反向处理后与信号探测单元中的测量电容传感器(C_s)的第一端子以及参考电容(C_r)的第一端子连接，测量电容传感器(C_s)的第二端子与参考电容(C_r)的第二端子直接相连后，输出微小电流信号。

3.按权利要求2所述的测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：所述驱动脉冲由CPLD控制开关元件产生。

4.按权利要求1所述的测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：所述测量电容传感器(C_s)和参考电容(C_r)的充放电由高频方波驱动。

5.按权利要求1所述的测量纳米级微小位移测量装置，其特征在于：所述差分采样电路中的控制时钟由时序电路提供，相位相差90°，产生的差分信号由减法电路做减法运算并放大。