[发明专利]化学机械抛光头抛光压力控制方法及其装置无效
| 申请号： | 201010611738.3 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102554781A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 高慧莹;罗杨;孙振杰;陈学森 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B24B51/00 | 分类号： | B24B51/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北省石家庄市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 抛光 压力 控制 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光头抛光压力控制方法，其特征在于：加压汽缸通过超精密减压阀的控制来克服负载的自身重力；通过空气继电器的PID调节消除外界气源的波动；上位机控制的输出模拟量控制电空变换器、空气继电器、隔膜汽缸的方法来实现抛光的恒定压力控制和压力大小连续可调。
2.一种化学机械抛光头抛光压力控制装置，包括抛光盘加压机构，其特征在于主要具有超精密减压阀（7）、电空变换器（2）、空气继电器、隔膜汽缸（4）；超精密减压阀（7）的输入端接通大气主气源，输出端连接到隔膜汽缸（4）的推端，电空变换器（2）的输入端接通大气主气源，电空变换器（2）的输出端连接到空气继电器（6）的控制端，控制端连接上位机的模拟量输出端上，空气继电器（6）的输入端接通大气主气源，空气继电器（6）的输出端连接到隔膜汽缸（4）的引端，隔膜汽缸（4）的输出汽缸杆与抛光盘加压机构连接。
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