[发明专利]一种碳-无氧铜多级降压收集极及制造方法无效

专利信息
申请号: 201010612109.2 申请日: 2010-12-29
公开(公告)号: CN102543631A 公开(公告)日: 2012-07-04
发明(设计)人: 赵世柯;刘柳萍;肖东梅;樊会明;苏小保 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: H01J23/027 分类号: H01J23/027;H01J25/34;H01J9/14
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 无氧铜 多级 降压 收集 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种碳-无氧铜多级降压收集极,包括降压收集极电极、绝缘瓷件、外套筒、电极引线;其特征在于,降压收集极电极包括无氧铜基底和碳层两部分,除了无氧铜基底柱状外周圆表面部分,在无氧铜基底内外表面都覆有碳层;无氧铜基底下端与电极引线电连接;将无氧铜基底、绝缘瓷件、外套筒同心套置,无氧铜基底柱状外周圆表面的无涂层区域,与绝缘瓷件内孔表面固接,绝缘瓷件外周圆与外套筒内周圆固接,成单级降压收集极,电极引线由绝缘瓷件的引线孔中伸出;再将多个单级降压收集极按需要组装成多级降压收集极。

2.如权利要求1所述的碳-无氧铜多级降压收集极,其特征在于,所述降压收集极电极,表面碳层厚度为5-15μm;在无氧铜基底与碳层之间设有钛过渡层。

3.如权利要求1所述的碳-无氧铜多级降压收集极,其特征在于,所述绝缘瓷件,为95%、99%氧化铝或氧化铍陶瓷,经金属化处理,表面镀镍;电极引线为镍丝;外套筒以无磁蒙乃尔材料制作,壁厚≥0.8mm。

4.一种如权利要求1所述的多级降压收集极的制造方法,其特征在于,包括步骤:

A)依据需要制备降压收集极电极、绝缘瓷件、外套筒备用;

B)将电极引线与降压收集极电极固接;

C)将带有电极引线的降压收集极电极与绝缘瓷件、外套筒同心套置,焊接为一体,得一单级降压收集极;

D)按需要,将多个单级降压收集极叠置固接成多级降压收集极。

5.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述A)步制备降压收集极电极,将无氧铜基底冲压成型,在无氧铜基底表面的非焊接区域覆设钛过渡层,再用物理气相沉积方法在过渡层表面沉积碳层;覆设钛过渡层、碳层的过程中,用不锈钢挡具将无氧铜基底与绝缘瓷件焊接区域遮挡起来。

6.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述A)步制备绝缘瓷件,对焊接面采用常规的高温Mo-Mn法进行金属化处理后,电镀镍层、烧氢处理;车制外套筒。

7.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述B)步,是在氢炉或真空炉中,用焊料丝将φ0.3-0.6mm的镍丝钎焊在降压收集极电极的无氧铜基底的引线孔上,作为电极的引线;升、降温速率10-40℃/分钟,焊接温度高于指示焊料熔化温度10-20℃,保温1-5分钟。

8.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述C)步,包括步骤:

1)按照单级降压收集极组装要求,将降压收集极电极、绝缘瓷件、外套筒依次装配在经过黑化处理的不锈钢模具上,在焊缝上安放φ0.4-0.6mm焊料丝;

2)再放入氢炉或真空炉中,焊接温度高于指示焊料熔化温度20-40℃,升、降温速率10-20℃/分钟,保温1-5分钟,得单极收集极成品。

9.如权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述D)步,包括步骤:

a)按照多级降压收集极整体组装结构要求,在模具中,将多个经C)步骤焊接好的单极收集极组装成多级降压收集极;b)再放入氢炉或真空炉中焊接,焊接温度高于指示焊料熔化温度10-20℃,升、降温速率10-20℃/分钟,保温1-5分钟,得多级降压收集极成品;c)检测,确定合格品。

10.如权利要求7、8或9所述的制造方法,其特征在于,所述钎焊焊料丝为纯Ag、Au-Cu或Ag-Cu共晶焊料;焊接真空气氛,为焊料熔化时真空压强<3×10-3Pa。

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