[发明专利]薄膜太阳能电池及用于制造一薄膜太阳能电池的方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池，其特征在于，包含：

一基板；

一透明电极层，其形成于该基板上；

一半导体层，其形成于该透明电极层上且具有凹槽；

一背电极层，其形成于该半导体层上，其中该半导体层与该背电极层的形成体经图案化，且该经图案化形成体与该透明电极层形成数个串联连接的单位电池；

一正电极，其形成于该些串联连接的单位电池的一最前单位电池上以作为该薄膜太阳能电池的一正极端子；及

一负电极，其形成于该些串联连接的单位电池的一最末单位电池上以作为该薄膜太阳能电池的一负极端子；

其中该背电极层经形成以至少填充该正电极下方的该最前单位电池及该负电极下方的该最末单位电池的该些凹槽，以与该透明电极层直接连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，该背电极层经由该正电极下方的该最前单位电池及该负电极下方的该最末单位电池的该些凹槽与该透明电极层进行直接欧姆接触。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，该透明电极层包含透明导电氧化物，该半导体层包含非晶硅，该背电极层包含金属，且该正电极及该负电极形成为带状电极。

4.一种用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，包含以下步骤：

在一基板上形成一透明电极层；

在该透明电极层上形成一半导体层；

图案化该半导体层以形成复数个半导体区域及数个第一凹槽；

形成一背电极层以覆盖该些半导体区域且填充该些第一凹槽；

图案化该背电极层以形成数个背电极，使得该些背电极、该些半导体区域及该透明电极层形成数个串联连接的单位电池；

在该些串联连接的单位电池的一最前单位电池上形成一正电极以作为该薄膜太阳能电池的一正极端子；及

在该些串联连接的单位电池的一最末单位电池上形成一负电极以作为该薄膜太阳能电池的一负极端子；

其中该背电极层经形成使得该背电极层至少填充该正电极下方的该最前单位电池及该负电极下方的该最末单位电池的该些第一凹槽，以与该透明电极层直接连接。

5.根据权利要求4所述的用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，进一步包含以下步骤：

图案化该透明电极层以形成数个透明电极及数个第二凹槽；

其中在该透明电极层上形成该半导体层的步骤进一步包含以下步骤：

形成该半导体层以覆盖该些透明电极且填充该些第二凹槽。

6.根据权利要求4所述的用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，该最前单位电池及该最末单位电池的该些背电极经形成以经由该正电极下方的该最前单位电池及该负电极下方的该最末单位电池的该些第一凹槽与该透明电极层进行直接欧姆接触。

7.根据权利要求4所述的用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，该透明电极层包含透明导电氧化物，该半导体层包含非晶硅，该背电极层包含金属，且该正电极及该负电极形成为带状电极。

8.一种用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，包含以下步骤：

在一基板上形成一透明电极层；

对该透明电极层进行激光切割以形成数个透明电极及数个第一凹槽；

形成一半导体层以覆盖该些透明电极且填充该些第一凹槽；

对该半导体层进行激光切割以形成数个半导体区域及数个第二凹槽；

形成一背电极层以覆盖该些半导体区域且填充该些第二凹槽；

对该背电极层进行激光切割以形成数个背电极，使得该些背电极、该些半导体区域及该透明电极层形成数个串联连接的单位电池；

在该些串联连接的单位电池的一最前单位电池上形成一正电极以作为该薄膜太阳能电池的一正极端子；及

在该些串联连接的单位电池的一最末单位电池上形成一负电极以作为该薄膜太阳能电池的一负极端子；

其中该最前单位电池及该最末单位电池的该些背电极经形成以经由该正电极下方的该最前单位电池及该负电极下方的该最末单位电池的该些第二凹槽与相应的该些透明电极进行直接欧姆接触。

9.根据权利要求8所述的用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，该透明电极层包含透明导电氧化物，该半导体层包含非晶硅，且该背电极层包含金属。

10.根据权利要求8所述的用于制造一薄膜太阳能电池的方法，其特征在于，该正电极及该负电极形成为带状电极。