[发明专利]一种化学机械研磨装置无效
| 申请号： | 201010613307.0 | 申请日： | 2010-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN102528652A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 邓武锋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械研磨装置，至少包括研磨垫和修正装置；其中，所述修正装置包括转动轴和修正器，研磨过程中所述转动轴带动所述修正器旋转且对所述研磨垫表面进行修正；
其特征在于，所述修正器上覆盖有金属涂层，所述化学机械研磨装置还包括吸附装置，所述吸附装置位于研磨垫上方，用于吸附所述散落在研磨垫上的金属涂层颗粒。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述吸附装置是磁铁。
3.根据权利要求2所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述吸附装置通过连接装置与化学机械研磨装置连接且置于研磨垫上方。
4.根据权利要求3所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述吸附装置的形状呈矩形、或圆形、或三角形。
5.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述修正器与所述转动轴之间通过连接器件相连接，使所述修正器绕着所述转动轴转动。
6.根据权利要求5所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述连接器件包括螺栓和螺孔或螺钉。
7.根据权利要求5所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述修正器包括修正元件和基座，其中所述基座用于承载所述修正元件。
8.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述金属涂层颗粒为铁或铜或铝颗粒。
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