[发明专利]用于精密对位的影像采集装置及其影像采集组件

说明书

技术领域

本发明涉及一种可同时采集双侧影像的影像采集装置，特别是一种用于两对象精密对位的伸入式影像采集装置。

背景技术

双对象或双层板对位技术的应用范围甚为广泛，例如半导体、平面显示器、印刷电路板等领域皆需实施双对象或双层板对位技术，因此，各大产业纷纷对该双对象或双层板对位技术进行改善，以期望提高该双对象或双层板对位技术的精密度，从而缩短精密对位的时间，以降低制造成本。

目前，双层板对位技术的应用如下所述：

请参照图1所示，具体公开了一种利用影像视觉装置的影像采集辅助自动对位的技术，该影像采集对位装置9包含有一影像采集组件91、一对位装置92及一夹治具93，该定位台92用以承载一下层对象94，且该夹治具93利用一夹治端931以负压吸附方式抓持一上层对象95，且该上层物件95位于该下层物件94的上方，又，该上、下层对象95、94的表面分别具有一组对应的对位标记951、941，且该影像采集组件91分别朝向该对位标记951、941。请参照图2a及2b所示，于该影像采集对位装置9进行对位时，利用该影像采集组件91分别采集该上、下层对象95、94的对位标记951、941的影像，再配合计算机辅助判断的方法以判定该上、下层对象95、94间的旋转角度、水平方向及垂直于水平方向的纵向位置的误差，据此通过该对位装置92和/或夹治具93调整该上、下层对象95、94的相对位置，以利用该对位标记951、941使得该上、下层对象95、94进行叠合对位而达到制造工艺所需要的精度。

然而，由于该影像采集对位装置9是直接以该影像采集组件91朝向该对位标记951、941，因此仅有在该上层对象95在影像采集组件91的可视区可充分透光时，才能利用该影像采集对位装置9之影像采集组件91完成该对位标记951、941的取像动作。因此，由于该上层对象95在材质上的特殊限制，造成该影像采集对位装置9无法广泛应用于无法提供足够透光区的非透明材质却仍需要进行精密对位技术的对象(例如：晶圆、印刷网板、软性电路板等)。

再者，由于现今产业大多朝向小型精密化发展，使得欲进行对位的对象尺寸也随之微小精细化，因此当该上层对象95的尺寸仅略大于该夹治具93的夹治端931时，不仅难以在该上层对象95超出该夹治端931的位置标示该对位标记951，并且也无法于该上层对象95的周围架设该影像采集组件91以便采集该对位标记951的影像。因此，该现有影像采集对位装置9无法对尺寸较小的对象进行准确的取像对位。

为了进一步改善上述缺点，现有技术中还公开了另一种双对象或双层板对位技术，请参照图3a所示，公开了另一种影像采集对位装置8，包含有数影像采集组件81、一对位平台82及一旋转台83，该对位平台82用以承载一下层对象84，该旋转台83用以供该上层对象85固定，且该上层物件85对位于该下层物件84的上方，该上、下层对象85、84的表面分别具有数个对应的对位标记851、841，且通过该数影像采集组件81分别朝向该对位标记851、841。

请再参照图3a所示，于该影像采集对位装置8进行对位时，利用该影像采集组件81各自采集该上、下层对象85、84的对位标记851、841，以传送至计算机进行影像处理与标记坐标的辅助运算，通过运算取得该上、下层对象85、84所存在的相对空间位差。请参照图3b所示，待辅助运算结束后获得空间误差补偿的数值，据此，是通过该定位台82和/或旋转台83调整该上、下层对象85、84的相对位置，待准确调整后利用该旋转台83对上层对象85作180度的旋转，使得该上层对象85的对位标记851转向与该下层对象84的对位标记841相对应，接着，再以该上层对象85对该下层对象84作相关动作，其中，该空间误差的补偿包含有水平方向、垂直于水平方向的纵向及旋转等三个方向。

然而，由于该影像采集对位装置8是待该上、下层对象85、84的空间误差补偿调整过后，再对该上层对象85进行180度的旋转，因此，往往容易使得该上、下层对象85、84于转动的过程额外产生旋转误差，而降低对位精准度。

再者，由于该影像采集对位装置8所架设的数个影像采集组件81的精确相对位置对于最终对位精度影响甚巨，若校正不佳或产生锁固件松弛及碰撞，造成影像采集组件81位置偏移，将使得各该影像采集组件81之间产生相对性的误差而影响整个影像采集对位装置8，造成该上、下层对象85、84之间的空间误差无法得到应有的补偿，而降低该上、下层物件85、84间的对位精准度。

发明内容