[发明专利]适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置有效

专利信息
申请号: 201010614534.5 申请日: 2010-12-30
公开(公告)号: CN102080266A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: 孙国飞;陈辉;张鹏铭;朱鑫峰;张玮;徐飞;吴建飞 申请(专利权)人: 绍兴精功机电有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 浙江翔隆专利事务所 33206 代理人: 戴晓翔
地址: 312028 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 适用于 多晶 坩埚 烧结炉 电热 装置
【权利要求书】:

1.适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,包括炉壁(1),设置在炉壁(1)上的电热元件支承座(2),通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座(2)上,其特征在于电热元件支承座(2)的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。

2.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述连接组件包括通过连接件(7)固定在炉壁(1)上的连接座(3),一端钩挂在连接座(3)上、另一端钩挂在电热元件支承座(2)连接部上的连接挂钩(4),所述电热元件支承座(2)的连接部上设有与连接挂钩(4)的钩接部相适应的挂钩槽(5)。

3.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)上至少对应的设置两个连接挂钩(4),分别设置在电热元件支承座(2)的顶部和底部,或者分别设置在电热元件支承座(2)相对的两侧面。

4.根据权利要求3所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于相临上下电热元件支承座(2)的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座(2)和相临的下电热元件支承座(2)上分别设置相配合的凹部(8)和凸部(9)。

5.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)仅顶部配合一个连接挂钩(4)。

6.根据权利要求3所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于上下相临的电热元件支承座(2)的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座(2)和相临的下电热元件支承座(2)上分别设置相配合的凹部(8)和凸部(9)。

7.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的连接座(3)横截面为半包围的框型,连接座(3)的开口端设有挂钩横杆(6);所述电热元件支承座上设置挂钩槽开口平面与所述的挂钩槽(5)成直角;所述连接挂钩(4)两端为直角形挂钩部,该连接挂钩(4)的一端钩挂在挂钩横杆(6)上,另一端钩挂在挂钩槽(5)内。

8.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的电热元件支承座(2)的连接部与连接座(3)之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合;或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合。

9.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述电热元件支承座(2)的工作部为弯钩支承部,该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板(10)。

10.根据权利要求9所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述加强板(10)上部开设电热元件走线孔(11),所述弯钩支承部被加强板(10)分割成相对的两个承接部(12)。

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