[发明专利]适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置有效
申请号: | 201010614534.5 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN102080266A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 孙国飞;陈辉;张鹏铭;朱鑫峰;张玮;徐飞;吴建飞 | 申请(专利权)人: | 绍兴精功机电有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 33206 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312028 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 适用于 多晶 坩埚 烧结炉 电热 装置 | ||
1.适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,包括炉壁(1),设置在炉壁(1)上的电热元件支承座(2),通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座(2)上,其特征在于电热元件支承座(2)的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。
2.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述连接组件包括通过连接件(7)固定在炉壁(1)上的连接座(3),一端钩挂在连接座(3)上、另一端钩挂在电热元件支承座(2)连接部上的连接挂钩(4),所述电热元件支承座(2)的连接部上设有与连接挂钩(4)的钩接部相适应的挂钩槽(5)。
3.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)上至少对应的设置两个连接挂钩(4),分别设置在电热元件支承座(2)的顶部和底部,或者分别设置在电热元件支承座(2)相对的两侧面。
4.根据权利要求3所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于相临上下电热元件支承座(2)的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座(2)和相临的下电热元件支承座(2)上分别设置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
5.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于每个电热元件支承座(2)仅顶部配合一个连接挂钩(4)。
6.根据权利要求3所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于上下相临的电热元件支承座(2)的分别设于阴阳配合部,即相临的上电热元件支承座(2)和相临的下电热元件支承座(2)上分别设置相配合的凹部(8)和凸部(9)。
7.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的连接座(3)横截面为半包围的框型,连接座(3)的开口端设有挂钩横杆(6);所述电热元件支承座上设置挂钩槽开口平面与所述的挂钩槽(5)成直角;所述连接挂钩(4)两端为直角形挂钩部,该连接挂钩(4)的一端钩挂在挂钩横杆(6)上,另一端钩挂在挂钩槽(5)内。
8.根据权利要求2所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述的电热元件支承座(2)的连接部与连接座(3)之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合;或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合。
9.根据权利要求1所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述电热元件支承座(2)的工作部为弯钩支承部,该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板(10)。
10.根据权利要求9所述的适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置,其特征在于所述加强板(10)上部开设电热元件走线孔(11),所述弯钩支承部被加强板(10)分割成相对的两个承接部(12)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴精功机电有限公司,未经绍兴精功机电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010614534.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。