[发明专利]一种模板图像获取方法

权利要求书

1.一种模板图像获取方法，应用于光刻机对准系统，该光刻机对准系统包括摄像机；图像采集模块，电路连接所述摄像机，用以采集标记图像；控制计算机，电路连接所述图像采集模块；其特征在于，包括：

采集标记图像并加载至控制计算机的图像编辑器，所述图像编辑器包括区域选取，裁剪，粘贴功能；

建立图像坐标系与图像编辑器坐标系的关系，并调整所述标记图像在所述图像编辑器的位置和大小；

通过所述图像编辑器的区域选取功能获取包含标记中心的初次裁剪区域；

利用所述图像编辑器的裁剪功能对所述初次裁剪区域进行初次裁剪；

利用所述图像编辑器的粘贴功能加载初次裁剪后的图像，并生成一个标靶坐标系；

建立图像坐标系与标靶坐标系的关系，调整所述初次裁剪后的图像，并通过标靶确定所述初次裁剪后的图像中的标记中心；

以所述标记中心为图像中心，通过所述图像编辑器的区域选取功能获取二次裁剪区域进行裁剪并获得最终的标记模板图像。

2.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，采用包含CCD摄像机和图像采集模块的CCD图像采集装置做为所述摄像机和图像采集模块来采集标记图像。

3.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述图像坐标系是以像素单位，以图像左上角为原点的坐标系。

4.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述图像编辑器坐标系的坐标轴相互垂直平分所述图像编辑器显示区域。

5.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述图像坐标系与图像编辑器坐标系的关系为(X，Y)＝K₁(U，V)，用以实现标记图像在图像编辑器中放大，缩小和移动，其中(X，Y)表示所述图像坐标系，(U，V)表示所述图像编辑器坐标系，K₁表示坐标转换参数组，包括放大倍率、平移矩阵、旋转矩阵。

6.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，通过所述图像坐标系与图像编辑器坐标系的关系的建立对所述标记图像进行放大或缩小或平移，使标记图像全部显示在所述图像编辑器的显示区域；通过所述图像编辑器的图像选取功能选取包含全部标记图像的大致区域做为所述初次裁剪区域。

7.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，以初次裁剪后的图像边界建立正方形，在所述正方形的两组对边及对边中线和对角线上生成相应刻度，以所述正方形的中心为标靶中心完成所述标靶坐标系的建立。

8.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述图像坐标系与标靶坐标系的关系为(X’，Y’)＝K₂(M，N)，用以实现初次裁剪后的图像在图像编辑器中放大，缩小和移动后图像中心点与标靶坐标系原点重合，其中(X’，Y’)表示初次裁剪后的图像对应的图像坐标系，(M，N)表示所述标靶坐标系，K₂表示坐标转换参数组，包括放大倍率、平移矩阵。

9.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述通过标靶坐标系确定所述初次裁剪后的图像中的标记中心通过利用所述图像坐标系与标靶坐标系的关系，对所述初次裁剪后的图像移动或放大，使标靶坐标系的原点与所述初次裁剪后的图像的标记中心点重合，利用标靶坐标系的坐标得到标记中心点的坐标值。

10.如权利要求1所述的模板图像获取方法，其特征在于，所述模板图像获取方法还包括通过图像降噪装置对所述二次裁剪后的图像进行降低或消除噪声的预处理。