[发明专利]一种光刻设备环境控制系统

权利要求书

1.一种光刻设备环境控制系统，其特征在于：包括被控单元，为被控对象；冷却水输送单元，提供冷却水源，并将冷却水输出；温度控制单元，将冷却水输送单元输出的冷却水源进行温度调节后，去控制被控单元的温度；空气输送单元，用于输送空气给被控单元。

2.根据权利要求1所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述被控单元包括光刻设备，所述光刻设备包括腔体(19)、以及安装在腔体(19)内的物镜(18)，所述物镜(18)的出水口通过第八冷却水管(108)与冷却水输送单元管路连接。

3.根据权利要求2所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述腔体(19)的进风口处设置有静压腔(12)。

4.根据权利要求1所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述冷却水输送单元包括水箱(6)，与水箱(6)管路连接的水泵(5)，与水泵(5)连通的第一冷却水管(101)。

5.根据权利要求1所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述温度控制单元包括与冷却水输送单元管路连接的制冷器(1)、与制冷器(1)通过第二冷却水管(102)管路连接的第一水阀(3)，与第一水阀(3)通过第三冷却水管(103)管路连接的第一加热器(8)，所述第一加热器(8)通过第四冷却水管(104)连接到被控单元的物镜(18)的进水口；所述第二冷却水管(102)上安装有第一温度传感器(13)；所述第一加热器(8)通过第一PID控制器(17)电连接有第二温度传感器(15)，所述第二温度传感器(15)安装在被控单元的物镜(18)上。

6.根据权利要求5所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述制冷器(1)通过第二冷却水管(102)还连接有第二水阀(4)、与第二水阀(4)通过第五冷却水管(105)管路连接有第二加热器(7)，所述第二加热器(7)通过第六冷却水管(106)管路连接有水-空气热交换器(11)，所述水-空气热交换器(11)通过第七冷却水管(107)、第八冷却水管(108)连接到冷却水输送单元的水箱(6)上；所述第二加热器(7)通过第二PID控制器(16)电连接有第三温度传感器(14)，所述第三温度传感器(14)安装在被控单元的腔体(19)内。

7.根据权利要求1所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述空气输送单元包括与被控单元的腔体(19)连通的通风管道(10)，所述通风管道(10)的进风管道(29)内安装有风机(9)，所述风机(9)下端的通风管道(10)与温度控制单元的水-空气热交换器(11)连接。

8.根据权利要求7所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述通风管道(10)的进风口(28)内安装有初效过滤器(20)。

9.根据权利要求7所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述被控单元腔体(19)的静压腔(12)内安装有高效过滤器(21)。

10.根据权利要求7或8所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述通风管道(10)的进风管道(29)上还安装有加湿器(22)，所述加湿器(22)通过第三PID控制器(24)与湿度传感器(25)电连接，所述湿度传感器(25)安装在被控单元的腔体(19)内。

11.根据权利要求7或8所述的光刻设备环境控制系统，其特征在于：所述通风管道(10)的进风管道(29)上还安装有第三加热器(23)，所述第三加热器(23)通过第四PID控制器(26)与第四温度传感器(27)电连接，所述第四温度传感器(27)安装在被控单元的腔体(19)内。