[发明专利]二维长行程工作台运动系统

权利要求书

1.一种二维长行程工作台运动系统，其特征在于，包括：

承载台；

第一方向运动装置，包括第一方向导轨、第一方向滑台以及第一方向电机，所述第一方向滑台沿第一方向可滑动地设置于所述第一方向导轨，且所述第一方向滑台连接于所述承载台，所述第一方向电机连接于所述第一方向滑台；以及

两个第二方向运动装置，分别连接于所述第一方向运动装置的两侧，每一所述第二方向运动装置包括：

第二方向导轨；

第二方向滑台，沿所述第一方向与第二方向可滑动地悬浮于所述第二方向导轨的上方，所述第二方向滑台连接于所述第一方向导轨，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及

二维电机，连接于所述第二方向滑台，驱动所述第二方向滑台以及所述第一方向运动装置沿所述第二方向作长行程运动的同时能够在所述第一方向作1～2mm的小行程运动。

2.根据权利要求1所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述二维电机包括：

第一方向定子，设置于所述第二方向导轨；

第二方向定子，设置于所述第二方向导轨；

第一方向动子，设置于所述第二方向滑台并对应所述第一方向定子，所述第一方向动子与所述第一方向定子相互吸引；以及

第二方向动子，设置于所述第二方向滑台并对应所述第二方向定子，所述第二方向动子与所述第二方向定子相互吸引。

3.根据权利要求2所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述第一方向定子与所述第二方向定子为线圈或磁铁，所述第一方向动子与所述第二方向动子对应为磁铁或线圈。

4.根据权利要求2所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述第一方向定子在所述第一方向上的长度小于所述第二方向定子在所述第二方向上的长度。

5.根据权利要求2所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述第一方向定子在所述第二方向上的长度等于所述第二方向定子在所述第二方向上的长度。

6.根据权利要求1所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，每一所述第二方向运动装置还包括悬浮体，分别设置于所述第二方向滑台，所述悬浮体悬浮于所述第二方向导轨的上方。

7.根据权利要求6所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述悬浮体为磁铁或空气轴承。

8.根据权利要求1所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，每一所述第二方向运动装置还包括第一方向限位件，设置于所述第二方向导轨。

9.根据权利要求1所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，每一所述第二方向运动装置还包括第一测量件，用以测量所述第二方向滑台沿所述第二方向的滑动行程。

10.根据权利要求9所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述第一测量件为一维光栅尺。

11.根据权利要求1所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，每一所述第二方向运动装置还包括第二测量件，用以测量所述第二方向滑台沿所述第一方向的滑动行程。

12.根据权利要求11所述的二维长行程工作台运动系统，其特征在于，所述第二测量件为一维光栅尺或霍尔传感器。