[发明专利]电器控制箱

说明书

技术领域

本发明涉及一种电器控制箱，特别涉及一种应用于半导体制造领域中光刻机的电器控制箱。

背景技术

电气设备、机电一体化设备或者机电气一体化设备都要使用电器控制箱，特别是光刻机的电器控制箱，其内含有电源器件、集成电路芯片、激光设备各种电子器件。由于电器控制箱内的各种电器元件都是发热器件，在使用设备时，各种电器元件就会散发出热量。当电器控制箱内环境温度过高时，电器元件可能会停止工作或者损坏。电器元件一般都安装在电器控制箱的侧壁上，因此，安装有电器元件的侧壁也会产生很高的热量，这种热量也会造成电器控制箱内的电器元件停止工件或者损坏。因此，要对电器控制箱进行散热。

现有技术一般采用抽排的方式对电器控制箱散热，现有技术电器控制箱的结构包括设置在电器控制箱其中一个侧壁的进风口和设置在另一个侧壁的出风口，出风口连接有抽排管，抽排管连接有抽力装置。抽力装置一般采用风机。上述结构的电器控制箱，启动抽力装置，进风口吸入的恒温空气流过电器控制箱内电器元件，通过抽排管将电器元件表面的热空气吸出，进而对电器元件表面进行散热；进风口吸入的恒温空气还流经未发热部位的箱体(即未安装有电器元件的电器控制箱的侧壁)，通过抽排管将未发热部位的箱体表面的热空气吸出，进而对电器控制箱的箱体进行散热。但进风口吸入的恒温空气不能直接流经发热部位的箱体(即安装有电器元件的电器控制箱的侧壁)，抽排管也不能将发热部位的箱体的热量吸出。

综上所述，现有技术的电器控制箱的缺点是：对电器控制箱的箱体散热不均匀。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供了一种能够对电器控制箱的箱体进行均匀散热的电器控制箱。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种电器控制箱，包括设置在第一侧壁上的第一进风口，设置在第二侧壁上的出风口，还包括至少一块夹板，所述夹板平行安装在剩余侧壁的至少一个面上，所述夹板和剩余侧壁之间留有缝隙，所述缝隙的一端设置有第二进风口，所述第二进风口靠近第一进风口，所述缝隙的另一端设置有能够流向出风口的导风口，所述导风口靠近出风口。

进一步的，所述夹板和剩余侧壁之间垂直平均分布有至少一块肋板。

采用上述技术方案后，本发明电器控制箱与现有技术相比，具有以下优点：本发明包括由第一进风口、出风口构成的第一散热风道，还包括由第二进风口、缝隙、导风口、出风口构成第二散热风道。

此种结构的电器控制箱使用时，将电器元件安装在电器控制箱的夹板内侧。启动抽力装置，新的恒温空气从第二散热风道的第二进风口吸入，流经发热部位的夹板(即安装有电器元件的夹板)侧壁和箱体侧壁，通过抽排管将发热部位的夹板侧壁和箱体侧壁的热空气吸出，经过不断的吸入新的恒温空气，吸出夹板侧壁和箱体侧壁的热空气，从而实现对发热部位的夹板侧壁和箱体侧壁进行散热。

夹板与电器控制箱的剩余侧壁之间垂直平均分布有至少一块肋板。则第二进风口和导风口被肋板均匀的分隔为多个第二进风口和多个导风口，则第二散热风道的多个第二进风口同时吸入的新的恒温空气，再将发热部分的夹板和箱体的热空气经多个导风口流向出风口，然后经抽排管吸出，从而使第二散热风道的气流吸入、吸出更加的均匀，进而对电器控制箱的发热部分的夹板和箱体进行均匀的散热。

进风口、出风口构成的第一散热风道，可以对电器控制箱内部的电器元件表面进行散热，还可以对未发热部分的箱体进行散热。

因此，本发明可以对电器控制箱的箱体进行均匀的散热。

附图说明

图1是本发明电器控制箱实施例1的结构示意图；

图2是本发明电器控制箱实施例2的结构示意图；

图3是本发明电器控制箱实施例3的结构示意图；

图4是本发明电器控制箱实施例4的结构示意图。

图中所示：1、第一进风口，2、出风口，3、抽排管，4、抽力装置，5、夹板，51、第二进风口，52、导风口，6、肋板，7、第一侧壁，8、缝隙，9、第二侧壁。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细描述：

实施例1：