[发明专利]一种多晶铸锭晶体的生长工艺有效
申请号: | 201010619898.2 | 申请日: | 2010-12-31 |
公开(公告)号: | CN102031556A | 公开(公告)日: | 2011-04-27 |
发明(设计)人: | 李会吴;周基江;陈方芳 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 王凌霄 |
地址: | 213031 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 晶体 生长 工艺 | ||
1.一种多晶铸锭晶体的生长工艺,适用于DSS450多晶铸锭炉,其特征是:对晶体生长过程中的长晶时间、长晶温度和长晶初期隔热笼提升位置的调整带动功率的PID控制输出,形成避免熔硅组分过冷的可抑制微晶形成的渐增式功率变化趋势。
2.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭晶体的生长工艺,其特征是:所述的晶体生长过程中的长晶时间、长晶温度和长晶初期隔热笼提升位置的调整具体为G1长晶时间0.3h~1.3h、温度设定值1429℃~1435℃、隔热笼提升7cm~9cm,G2长晶时间2.0h~4.0h、温度设定值1429℃~1435℃、隔热笼提升9cm~11cm,G3长晶时间1.0h~3.0h、温度设定值1427℃~1433℃、隔热笼提升11cm~13cm,G4长晶时间4.0h~6.0h、温度设定值1427℃~1433℃、隔热笼提升13cm~15cm,G5长晶时间4.0h~6.0h、温度设定值1425℃~1431℃、隔热笼提升14cm~16cm,G6长晶时间7.0h~10.0h、温度设定值1423℃~1429℃、隔热笼提升14cm~16cm,G7长晶时间3.0h~5.0h、温度设定值1417℃~1423℃、隔热笼提升14cm~16cm。
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