[发明专利]一种单晶棒外圆的滚磨方法无效
申请号: | 201010620114.8 | 申请日: | 2010-12-23 |
公开(公告)号: | CN102172874A | 公开(公告)日: | 2011-09-07 |
发明(设计)人: | 吴胜登;余俊军;毛建军;吴志锋 | 申请(专利权)人: | 万向硅峰电子股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B9/16 |
代理公司: | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人: | 舒良 |
地址: | 324300 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶棒外圆 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种单晶棒外圆的滚磨方法。
背景技术
目前,传统的滚磨方法是利用磨头单侧进行外圆滚磨,磨头进给量一次只能磨一边,只能是单边进给量。如图1所示,假如一次滚磨量最大不超过0.3mm,那一次进给量只能为小于0.3mm,这种工艺方法滚磨效率较低。
发明内容
本发明的目的是提供能提高效率的一种单晶棒外圆的滚磨方法。
本发明采取的技术方案是:一种单晶棒外圆的滚磨方法,其特征在于把单晶棒夹在滚磨机上,调好同心度,然后将磨头与晶棒角度成两侧接触晶棒,如设定磨头最初与单晶棒接触的前一侧的进刀深度小于N值,则另一侧在前一侧的研磨下的进刀深度为N值。
采用本发明方法,由于改单侧研磨为双侧研磨,磨头两侧同时与工件前后进行外圆研磨,一个磨头达到两个磨头的效能,因此能提高滚磨效率。
附图说明
图1是原采用的方法示意图。
图2是本发明的示意图。
图中序号表示:单晶棒1、磨头2。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
参照图2,首先,将单晶棒1夹在滚磨机上,调好同心度;其次,调整磨头角度,使磨头2与单晶棒1成两侧接触单晶棒1。第三,如果进给深度设定为0.2~0.3mm,则磨头2前一侧进刀量为0.2~0.3mm,另一测在前一侧的研磨下进给量为0.3mm。这样达到一次进给量为0.5~0.6mm,单边进入单晶棒1磨销量为每侧0.3mm,这样并没有通过加大进刀量而损伤单晶棒1,就能达到提高滚磨效率的目的,同时,还可以在磨头2上采用内圈粗砂与外圈细砂的办法来提高表面质量。
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