[发明专利]光学元件成形用模具、以及光学元件和该光学元件的制造方法

权利要求书

1.一种光学元件成形用模具，其特征在于，

具有基材和表面层，

所述表面层含有含Si的金刚石状碳，

所述表面层中Si的含量以Si与C之比即Si/C计为0.01～0.05，

所述表面层的厚度为2nm以上且小于50nm。

2.根据权利要求1所述的光学元件成形用模具，其中，表面层的摩擦系数为0.01～0.08。

3.一种光学元件的制造方法，其特征在于，使用下述光学元件成形用模具使光学元件材料成形，所述光学元件成形用模具具有基材和表面层，所述表面层含有含Si的金刚石状碳，所述表面层中Si的含量以Si与C之比即Si/C计为0.01～0.05，所述表面层的厚度为2nm以上且小于50nm。

4.根据权利要求3所述的光学元件的制造方法，其中，光学元件材料含有Ti、W、Nb和Bi中的至少一种。

5.一种光学元件，其特征在于，其是通过使用下述光学元件成形用模具来使光学元件材料成形的光学元件的制造方法制造的，所述光学元件成形用模具具有基材和表面层，所述表面层含有含Si的金刚石状碳，所述表面层中Si的含量以Si与C之比即Si/C计为0.01～0.05，所述表面层的厚度为2nm以上且小于50nm。