[发明专利]立体式电感有效
申请号: | 201010621758.9 | 申请日: | 2010-12-24 |
公开(公告)号: | CN102569249A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 蔡承桦;陈昌升;刘昌炽;张立奇;张永忠 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01F37/00;H01F41/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 陈红 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 立体 电感 | ||
技术领域
本发明是有关于一种电感,特别是有关于一种立体式电感。
背景技术
传统电感的结构如图1a所示的平面螺旋形绕线。平面螺旋结构有一些明显的缺点,特别是当集成电路的电路密度高时,以及当电感是用在高频集成电路中时。首先,因为各个循环都位于同一个平面中,所以各循环的截面积皆不相同,造成电感的净电感值不容易精确控制。另外,因为形成电感的材料是导体,所以周围的介电质与导体将和电感耦合而形成所谓的寄生电容,特别是电感与硅底材之间,更容易发生强烈的耦合。由于寄生电容所导致的能量耗损随频率升高而增加,电感品质参数Q在高频时将明显退化,因此这个缺点在高频集成电路将成为重大缺失。
为克服上述缺点,后来又发展出三维螺线型电感,例如图1b与图1c所示的电感。虽然线圈是位于不同平面上,然而线圈绕线所产生的磁场还是同一个方向。其金属导线重叠部分所产生的寄生电容,导致电感的自振频率下降,减少电感的可应用频率范围。另有一种三维螺线型电感,如图1d与1e所示,其占用的电感空间大,且设计的复杂度高,在制程上不易实现。
发明内容
本发明的目的在于提供一种立体式电感。
本发明提供一种立体式电感,形成于至少一基板上。基板包括一介电层及第一与第二导线层。立体电感包括第一线圈及第二线圈,第二线圈电性连接第一线圈,第一线圈位于基板的第一平面且形成于第一导线层。第二线圈位于基板的第二平面且形成于第二导线层及介电层。其中第一平面非平行或垂直第二平面,使得第一线圈与第二线圈产生非互相平行或垂直的磁场。
本发明另提供一种立体式电感,其形成于一多层板之中。多层板包括至少一介电层及至少二导线层。立体电感包括第一线圈及第二线圈,第二线圈电性连接第一线圈。第一线圈位于多层板的第一平面且形成于第一导线层。第二线圈电性连接第一线圈。第二线圈位于多层板的第二平面,第二线圈可经过多个介电层与多个导线层。其中第一平面非平行或垂直第二平面,使得第一组线圈与第二组线圈产生非互相平行或垂直的磁场。
以上所述的立体式电感不仅有效利用空间,且具有较高的品质因子,以及较高的自振频率,因此提高电感可应用的频率范围。
附图说明
图1a是传统的平面式电感;
图1b-1c是传统的三维螺线型电感;
图1d是另一种传统的三维螺线型电感的上视图;
图1e是另一种传统的三维螺线型电感的立体图;
图2是本发明的立体式电感的一实施例的示意图;
图3是本发明的实施例的多层板结构;
图4a是本发明的立体式电感的一实施例的示意图;
图4b是图4a的立体式电感的磁场的示意图;
图5a-5b是本发明的立体式电感的一实施例;
图6a-6b是本发明的立体式电感的一实施例;
图7a-7b是本发明的立体式电感的一实施例;
图8a-8b是本发明的立体式电感的一实施例;
图9a-9b是本发明的立体式电感的一实施例;
图10a-10b是本发明的立体式电感的一实施例;
图11a-11b是本发明的立体式电感的一实施例;
图12a-12b是平面式螺线型电感与的本发明立体式电感的感值-频率曲线以及品质因素-频率曲线的示意图;以及
图13a-13b是传统三维螺线型电感与本发明立体式电感的感值-频率曲线以及品质因素-频率曲线的示意图。
【主要组件符号说明】
200、400、500、600、700~立体式电感
210~基板
220、240、L1-L10~导线层
230、M1-M9~介电层
202、402、502、602、702~第一线圈
204、404、504、604、704~第二线圈
504a、508a~金属线
504b、504c、508b、508c~介孔导线
506、606~第一次级线圈
508~第二次级线圈
205、505、605、705、207、507、607、707~外部端点
706~第三线圈
708~第四线圈
709~连接介孔
711~连接线
520、620、720~第一导磁材料
540、640、740~第二导磁材料
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