[发明专利]一种用于离子源的固体物质气化装置无效
| 申请号： | 201010621918.X | 申请日： | 2010-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN102543643A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 邓颖辉;黄永章;彭立波;谢均宇;孙勇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子源 固体 物质 气化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于离子源的固体物质气化装置，其特征在于：热电偶(1)、热电偶支撑架结构(2)、灯管引线座(3)、通水座(4)、安装法兰(5)、灯管座(6)、加热灯管(7)、支承座(8)、小弹片(9)、送气管(10)、石墨坩埚帽(11)、石墨坩埚桶(12)、绝缘柱(13)、(15)和氮化硼垫片(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于离子源的固体物质气化装置，其特征在于：坩埚由石墨坩埚桶(11)和石墨坩埚帽(12)组成；加热灯管(7)可以给坩埚加热；热电偶(1)处于坩埚内部，可以检测坩埚内部的温度；支承座(8)靠近加热灯管(7)的部分抛光，可以更好的反射热量。
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