[发明专利]一种门联锁控制的方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种门联锁控制的方法，用在离子注入机的机房门控制中，特别涉及半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机，属于半导体器件制造领域。

背景技术

离子注入机是由离子光学系统、真空系统、电气系统、控制系统、水气等辅助系统构成。是一种综合性较高的大型设备。设备的头部是在高压下工作，需要将它与外界隔开。所以把它们放在一个机房的里，四周由十个门组成，这样就避免了高压暴露在外，倍压筒盖闭合时，高压仓就加上了高压。

门联锁控制的方法是来控制开门和锁门，门联锁与倍压筒盖并联一起受控。这样就能把加高压和门的开关联系起来，当倍压筒盖闭合时表示加上了高压，此时要把每个门关上才可以锁门，若倍压筒盖未闭合，则无需关门。关上每个门的状态都通过LED指示灯来显示。

发明内容

门联锁是一种把门和倍压筒盖并联一起受控的装置，在离子注入机中得到很好的应用。

本发明通过以下技术方案实现：

一种门联锁控制的方法，该装置包括离子注入机的十个门(12)以及对应的指示灯(15)、一个倍压筒盖(1)、一个气箱放电棒(3)、一个继电器线圈(4)、带灯的开门按钮(2)、带灯的锁门按钮(6)、放电棒电磁阀(10)。

所述的门(12)的状态都会在计算机中显示。当关上每个门(12)时它对应的指示灯(15)就亮起，门(12)的状态也在计算机中显示。

所述的倍压筒盖(1)的是否闭合也会在计算机中显示，倍压筒盖(1)闭合，表示已加高压。

所述的锁门按钮(6)为一个继电器的线圈(4)的开关，当按下锁门按钮(6)，继电器的线圈(4)得电，它的触点动作，线圈(4)本身达到自锁状态。

所述的源气箱放电棒(3)与锁门按钮(6)连锁，当按下锁门按钮(6)后，源气箱放电棒(3)的电磁阀动作，使放电棒(3)UP(伸出)，机房的门锁能打开。当按下开门按钮(2)，线圈(4)断电，触点再次动作，电磁阀失电，放电棒(3)DOWN(闭合)，门(12)不能打开锁。

附图说明

图1是本发明一种门联锁控制的方法的原理图。

具体实施方式：

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明新型的限定。

参考图1，一种门联锁控制的方法分以下几个步骤：假设门都未关上，步骤1关1号门(12)，它对应的指示灯(15)亮，倍压筒盖与其他门的电路与1号门相同。然后依次关上其他的门和倍压筒盖，它们相应的电路接通，各自的指示灯也依次亮起。步骤2当所有门以及倍压筒盖的指示灯都亮起时，表明每个门都关上，倍压筒盖闭合，此时可以锁门。按下带灯的锁门按钮(6)，瞬时接通了继电器的线圈7，线圈得电，常开触点(8)动作闭合，门已锁的灯(9)接通亮起。常开触点(14)动作闭合，door locked灯(13)亮。而且触点(16)动作闭合使继电器线圈达到自锁状态。常闭触点(4)断开，门未锁灯(5)灭。触点(11)闭合，放电棒电磁阀(10)得电，气箱放电棒(3)伸出。机房门锁能打开，步骤3按下开门按钮(2)，瞬间继电器线圈失电，随之它的触点动作。门已上锁(9)灯灭，放电棒电磁阀(10)失电，气箱放电棒(3)收回。Door locked灯(13)灭。步骤4开门。

本发明的特定实施例已对发明内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明原理的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。