[发明专利]键合金丝及其制备方法有效
申请号: | 201010622360.7 | 申请日: | 2010-12-30 |
公开(公告)号: | CN102127663A | 公开(公告)日: | 2011-07-20 |
发明(设计)人: | 郑康定;郑芳;李采莲;郑磊 | 申请(专利权)人: | 宁波康强电子股份有限公司 |
主分类号: | C22C5/02 | 分类号: | C22C5/02;H01L23/49 |
代理公司: | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所 33228 | 代理人: | 李迎春 |
地址: | 315104 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 合金丝 及其 制备 方法 | ||
1.一种键合金丝,其特征在于:其材料配方重量百分比为:铍0.0005%~0.001%,铜或锗0.0008%~0.002%,铈0.001%~0.003%,其余为金,金的纯度≥99.996wt%。
2.根据权利要求1所述的键合金丝的制备方法,其特征在于:包括以下工艺步骤:
①用纯度为99.99wt%的金电解提纯出纯度为99.999wt%的高纯金;
②将高纯金进行熔炼,铸锭成金板,将金板轧制成薄金片;
③制作中间合金,所述中间合金指铍-金中间合金、铜-金中间合金、锗-金中间合金和铈-金中间合金中的一种;
所述制作中间合金,包括以下顺序的工艺步骤:
a.按重量百分比称取步骤②得到的薄金片99.43%~99.50%和铍或铜或锗或铈0.50%~0.57%;
b.投料,用薄金片将铍或铜或锗或铈捆包成小包,并将此小包放入坩埚中;
c.真空熔炼;
d.浇铸,金液倒入石墨锭模中;
e.酸洗;
以上步骤制作出一种中间合金,按同样的工艺步骤制作出另外几种中间合金;
④竖式熔炼:将步骤③得到的中间合金在惰性气体氩气的保护下进行熔炼,拉铸,形成金棒;
⑤拉丝:将熔铸的金棒在拉丝机上逐步拉细,直至要求的直径;
⑥退火:退火温度为300~600℃,退火速度为0.3~1.2m/s,退火后进行表面处理;
⑦分卷:将键合金丝缠绕于收线轴;
⑧真空包装。
3.根据权利要求2所述的键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤①中电解时控制电解槽的槽压在0.6V,电解析出的金依次经水煮、氨水煮、水煮、3mol/L硝酸煮、水洗,烘干得高纯金。
4.根据权利要求2所述的键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤③中真空熔炼的熔炼功率为10kW,待完全熔化后保持温度精炼10min。
5.根据权利要求2所述键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤③中酸洗过程指将生成的中间合金先用纯水冷却,然后放到烧杯中并加入浓盐酸,将烧杯放到电炉上加热15min,煮完后再用纯水洗,最后用压缩空气吹干。
6.根据权利要求2所述键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤④中熔炼温度为1150±50℃,完全熔化后保持温度,精炼15min。
7.根据权利要求2所述键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤⑤中,其拉丝过程中的模具延伸率为5%~18%,拉丝速度为3~15m/s。
8.根据权利要求2所述键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤⑥中退火后的表面处理指在键合金丝表面附上一层高分子化合物,高分子化合物由10%表面活性剂、10%无水乙醇及80%双蒸水组成。
9.根据权利要求2所述键合金丝的制备方法,其特征在于:所述步骤⑦中,其绕丝张力为5~20g,绕丝速度为400~800rpm。
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