[发明专利]曝光灯组与曝光机有效

专利信息
申请号: 201010623276.7 申请日: 2010-12-27
公开(公告)号: CN102096298A 公开(公告)日: 2011-06-15
发明(设计)人: 黄彦杰;周上杰;许咏政 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: G03B27/54 分类号: G03B27/54;G02B5/20;G03F7/20
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;祁建国
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 曝光
【说明书】:

技术领域

发明是有关于一种曝光机,且特别是有关于一种曝光灯组。

背景技术

现有的紫外线曝光灯组,大体上是由灯管、内水套、外水套与圆管状的红外线截止滤光器(Infrared cut-off filter;IR filter)所组成。在使用时,灯管所发出的光线会通过红外线截止滤光器,红外线截止滤光器会反射或吸收光线中红外线波段的部份,避免红外线波段的光线影响后续进程,例如:造成不必要的温度上升。

由于红外线截止滤光器会反射或吸收光线中红外线波段的部份,因此红外线截止滤光器在使用时的温度会显著地增加。特别是对于高功率灯管而言,这种温度增加更是明显。为了避免温度过高影响紫外线曝光灯组的寿命,一般使用者会在内水套与外水套之间通冷却水,以水冷的方式冷却红外线截止滤光器。

然而,对高功率灯管而言,虽然使用者已经用水冷的方式来冷却,但很多时候仍然无法将红外线截止滤光器的温度降低至理想的温度。因此,相关产业的人员莫不殷切期盼一种能够增进冷却效果的创新设计。

发明内容

本发明的一目的是提供一种曝光灯组,其藉由增加管状滤光器的周壁表面的面积,来提供足够的热交换面积,以利冷却系统快速地带走管状滤光器的热量。

根据本发明一实施方式,一种曝光灯组包含管状光源、内水套、外水套与管状滤光器。内水套套设于管状光源外。外水套套设于内水套外,使得内水套与外水套之间形成空间。管状滤光器套设于内水套与外水套之间,此管状滤光器的周壁表面的面积,大于管状滤光器的外径圆周与长度的乘积。

本发明的另一另一目的是提供一种曝光机。

根据本发明另一实施方式,一种曝光机包含基座与曝光灯组。曝光灯组位于基座上方。曝光灯组包含管状光源、内水套、外水套与管状滤光器。内水套套设于管状光源外。外水套套设于内水套外,使得内水套与外水套之间形成空间。管状滤光器套设于内水套与外水套之间所形成的空间中,且此管状滤光器的周壁具有至少一内角缘与至少一外角缘。

本发明的有益效果在于:管状滤光器的周壁表面能够提供足够的热交换面积,冷却系统将能更快速地带走管状滤光器的热量。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为依照本发明一实施方式的曝光灯组的主视图;

图2为图1的局部2的剖面图;

图3为图2的管状滤光器的局部立体图;

图4为图2的管状滤光器的侧视图;

图5为依照本发明另一实施方式的管状滤光器的侧视图;

图6为依照本发明再一实施方式的管状滤光器的侧视图;

图7为依照本发明又一实施方式的管状滤光器的侧视图;

图8为依照本发明再一实施方式的管状滤光器的侧视图;

图9为依照本发明一实施方式的曝光机的主视图。

其中,附图标记

2:局部

100:曝光灯组

110:管状光源

120:内水套

125:空间

130:外水套

140:管状滤光器

142:周壁

144:滤光片

146:黏胶

200:曝光机

210:基座

220:紫外线通过滤光片

230:反射器

OD:外径

OC:外角缘

IC:内角缘

具体实施方式

以下将以图式揭露本发明的多个实施方式,为明确说明起见,许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而,应了解到,这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说,在本发明部分实施方式中,这些实务上的细节是非必要的。此外,为简化图式起见,一些公知惯用的结构与组件在图式中将以简单示意的方式绘示。

图1为依照本发明一实施方式的曝光灯组100的正视图。图2为图1的局部2的剖面图。如图所示,一种曝光灯组100包含管状光源110、内水套120、外水套130与管状滤光器140。内水套120套设于管状光源110外。外水套130套设于内水套120外,使得内水套120与外水套130之间形成空间125。管状滤光器140套设于内水套120与外水套130之间所形成的空间125中。

图3为图2的管状滤光器140的局部立体图。图4为图2的管状滤光器140的侧视图。在本实施方式中,管状滤光器140的周壁142表面的面积,大于管状滤光器140的外径圆周与长度的乘积。在此所述的管状滤光器140的外径圆周是指管状滤光器140的两倍半径OD乘以圆周率。

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