[发明专利]一种静压气浮导轨的性能检测装置及其使用方法

权利要求书

1.一种静压气浮导轨的性能检测装置，它至少由：上调节扳手(1)、上减速器(2)、垂直丝杠(3)、垂直导轨(4)、垂直运动架(5)、转轴(6)、旋转盘(7)、探头(8)、探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)、水平导轨(9)、基座(10)、水平运动架(11)、水平丝杠(12)、下减速器(13)和下调节扳手(14)所组成的检测机构(M)，其特征在于：所述的上调节扳手(1)安装在上减速器(2)的输入轴上，上减速器(2)安装在水平运动架(11)上，垂直丝杠(3)安装在水平运动架(11)上并与上减速器(2)的输出轴相连接，垂直运动架(5)设置在垂直丝杠(3)上并且通过设置在水平运动架(11)上的垂直导轨(4)与水平运动架(11)相连，下调节扳手(14)安装在下减速器(13)的输入轴上，下减速器(13)安装在基座(10)上，水平丝杠(12)安装在基座(10)上并与下减速器(13)的输出轴相连接，水平运动架(11)设置在水平丝杠(12)上并且通过设置在基座(10)上的水平导轨(9)与基座(10)相连接，垂直运动架(5)与旋转盘(7)通过转轴(6)相连接，探头(8)设置在旋转盘(7)上，探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)均设置在探头(8)上。

2.根据权利要求1所述的一种静压气浮导轨的性能检测装置，其特征在于：所述的探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)是电容式位移传感器或者是电感式位移传感器或者是光电式位移传感器。

3.根据权利要求1所述的一种静压气浮导轨的性能检测装置，其特征在于：所述的上减速器(2)、下减速器(13)是谐波减速器或者是行星减速器。

4.根据权利要求1所述的一种静压气浮导轨的性能检测装置的使用方法，其特征在于：首先，将两个相同的检测机构(M)对称地固定在被测气浮导轨(K)的两侧，通过上调节扳手(1)调整检测机构(M)的垂直运动架(5)，下调节扳手(14)调整检测机构(M)的水平运动架(11)，转动转轴(6)，使设置在探头(8)上的探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)处于水平方向靠近被测气浮导轨(K)的滑套(16)的左右两侧，驱动滑套(16)沿导轨(15)运动，测量探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)与设置在滑套(16)左右两侧标尺(17)的距离，从而测得气浮导轨左右两侧的直线度、导轨的滚动及偏转特性，通过转动旋转盘(5)，改变探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)相对于探头(8)的位置进行多次测量，以提高测量精确度，然后，通过上调节扳手(1)调整检测机构(M)的垂直运动架(5)，下调节扳手(14)调整检测机构(M)的水平运动架(11)，转动转轴(6)，使设置在探头(8)上的探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)处于坚直方向靠近被测气浮导轨(K)的滑套(16)的上下两侧，驱动滑套(16)沿导轨(15)运动，测量探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)与设置在滑套(16)上下两侧标尺(17)的距离，从而测得气浮导轨上下两侧的直线度、导轨的滚动及俯仰特性，通过转动旋转盘(5)，改变探针I(81)、探针∏(82)和探针Ш(83)相对于探头(8)的位置进行多次测量，以提高测量精确度。