[发明专利]用于真空处理设备的喷头组件

权利要求书

1.一种真空处理腔，包括：

腔室壳体；

喷头组件，其被连接至腔室壳体的顶部部分，并且所述喷头组件包括：

与腔室壳体刚性结合的背板；

穿孔的喷头板；

多个紧固组件，将所述喷头板滑动固定于背板，使得喷头板可相对于背板滑动；以及

其中，气体密封被保持于喷头板与背板之间。

2.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，穿孔的喷头板在其外围包括多个椭圆形孔，且其中所述多个紧固组件中的每一个被插入所述多个椭圆形孔的对应一个中。

3.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，喷头组件进一步包括设置于喷头板和背板之间的O型圈。

4.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，喷头组件进一步包括设置于喷头板与背板之间的衬垫，从而在喷头板与背板之间保持很小的间隙。

5.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，喷头板进一步包括圆形孔和穿过所述圆形孔并将喷头板牢固固定于背板上的螺栓。

6.根据权利要求2所述的真空处理腔，其特征在于，所述多个椭圆形孔中的每一个被定向成使其长轴位于沿着从喷头板中心放射状延伸且穿过该椭圆形孔的直线方向上。

7.根据权利要求6所述的真空处理腔，其特征在于，每个紧固组件包括栓，使得在紧固组件固定于其对应的椭圆形孔中时只能够有一个定向。

8.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，每个紧固组件包括滚珠轴承组件及穿过所述滚珠轴承组件的螺栓。

9.根据权利要求8所述的真空处理腔，其特征在于，所述滚珠轴承组件包括：

其中具有椭圆形孔的插件；

其中具有多个非圆形孔的滑动板；

多个滚珠，每一个对应于其中一个所述非圆形孔；

其中具有圆形孔的盖板。

10.根据权利要求9所述的真空处理腔，其特征在于，插件进一步包括栓，以将所述插件定向在喷头板的其中一个椭圆形孔内。

11.根据权利要求9所述的真空处理腔，其特征在于，插件、滑动板、多个滚珠以及盖板中的至少一个由陶瓷制成。

12.根据权利要求8所述的真空处理腔，其特征在于，所述真空处理腔进一步包括用于覆盖紧固组件的盖板。

13.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，每个紧固组件包括：

插件，其具有椭圆形孔和滑动面；

盖板，其具有面对所述滑动面的配合面；以及，

穿过所述插件和盖板的螺栓。

14.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，每个紧固组件进一步包括插入于插件和盖板之间的滑动板。

15.根据权利要求1所述的真空处理腔，其特征在于，滑动板包括聚四氟乙烯板。

16.一种将喷头组件固定到真空处理腔上的方法，所述方法包括：

将背板固定结合于真空处理腔；

使用多个紧固组件将穿孔喷头板与背板连接，使得穿孔喷头板与背板滑动结合；以及，

在穿孔喷头板与背板之间提供气体密封。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，滑动结合包括通过滚珠轴承组件将穿孔喷头板与背板螺栓连接。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括在穿孔喷头板与背板之间插入衬垫。

19.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括定向每个滚珠轴承组件，使其与从喷头板中心放射状延伸的假想线对齐。

20.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括在一点上将喷头板固定结合至背板。