[发明专利]用于气相淀积系统的具有可移除的辊子的传送器组件

权利要求书

1.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的传送器组件(100)，所述传送器组件包括：

设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)；

所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；

所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；

在所述第一托架导轨上的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，在所述辊子位置处的所述轮(114)中的至少一个是从动轮；以及，

在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。

2.根据权利要求1所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述辊子位置(108)由端部开口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨(106)中，所述一对轮(114，116)在所述凹部的底部处限定所述承座，使得所述辊子(120)不接触所述凹部的壁。

3.根据权利要求2所述的传送器组件(100)，其特征在于，沿着所述第一托架导轨(104)的所述从动轮(114)由共同的传动带(126)旋转地驱动，所述从动轮进一步包括抓取性增强的外周表面(118)，以提高所述传动带的牵引力。

4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的传送器组件(100)，其特征在于，所述传送器组件(100)进一步包括沿着所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨(106)设置在所述辊子位置(108)中的各个处的轴向接触部件(132)，所述接触部件构造成和设置成以便与所述辊子(120)的轴向端面(136)接触，以防止所述辊子相对于所述第一托架导轨和所述第二托架导轨的轴向运动。

5.一种用于将衬底(14)传送通过气相淀积系统(10)的气相淀积模块(138)，在气相淀积系统(10)中，源材料转变成蒸气，并且淀积在所述衬底的表面上，所述模块包括：

壳体(140)；

传送器组件(100)，其可操作地构造在所述壳体内，以将衬底(14)传送通过所述壳体，所述传送器组件包括：

设置在所述传送器组件的驱动侧处的第一托架导轨(104)，以及设置在所述传送器组件的相对侧处的第二托架导轨(106)；

所述第一托架导轨和所述第二托架导轨包括沿着所述第一托架导轨和所述第二托架导轨沿纵向隔开的多个辊子位置(108)；

所述第一托架导轨和所述第二托架导轨在所述辊子位置中的各个辊子位置处还包括一对轮(114，116)，所述轮间隔开，以便在所述相应的辊子位置处限定承座；

沿着所述第一托架导轨的多个所述辊子位置是驱动位置，其中，所述轮(114)中的至少一个是从动轮；以及，

在所述第一托架导轨和所述第二托架导轨之间延伸的多个辊子(120)，所述辊子具有在所述辊子位置处落入所述承座中的端部，使得可通过在所述辊子位置处从所述承座上提出所述辊子来从所述第一托架导轨和所述第二托架导轨上移除所述辊子。

6.根据权利要求5所述的模块(138)，其特征在于，所述辊子位置(108)由端部开口的凹部(110)限定，所述凹部(110)限定在所述第一托架导轨(104)和所述第二托架导轨(106)中，所述轮(114，116)在所述凹部的底部处限定所述承座，使得所述辊子(120)不接触所述凹部的壁。

7.根据权利要求6所述的模块(138)，其特征在于，沿着所述第一托架导轨(104)的所述从动轮(114)由在环状的循环路径中延伸的共同的传动带(126)旋转地驱动，所述从动轮进一步包括抓取性增强的外周表面(118)，以提高所述传动带的牵引力。

8.根据权利要求7所述的模块(138)，其特征在于，所述模块(138)进一步包括构造在所述壳体(140)上以驱动所述传动带(126)的驱动单元(102)。