[发明专利]触摸面板传感器

说明书

技术领域

本发明涉及具有透明导电膜及与此连接的布线的触摸面板传感器。

背景技术

配置于图像显示装置的前面的作为与图像显示装置一体型的输入开关使用的触摸面板传感器，其使用方便快捷，因此，被广泛应用于银行的ATM及售票机、导航仪、PDA、复印机的操作画面等。在其输入点的检测方式中，可列举电阻膜方式、静电容方式、光学式、超声波表面弹性波方式、压电式等。在它们当中，电阻膜方式及静电量方式由于不花费成本结构简单等理由而被最广泛应用。

静电容方式的触摸面板传感器具有在一张基板(例如玻璃基板及薄膜基板)的表面及背面上分别在X轴方向、Y轴方向形成透明导电膜的构成等，且为将其表面用保护层(例如玻璃及薄膜)保护的构造。用手指及笔等触摸这种构成的触摸面板传感器的上述保护层时，在与透明导电膜之间发生静电容的变化，通过感知此能够检测触摸的位置。

在制造上述触摸面板传感器的工艺中，用于连接透明导电膜和控制电路的引出布线及连接透明导电膜间的金属布线等布线，一般通过用喷墨及其它印刷方法印刷银膏等导电性膏及导电性油墨来形成。但是，存在由纯银或银合金构成的布线与玻璃及树脂等的密接性恶劣，另外，在与外部装置的连接部分在基板上凝集，由此，导致电阻的增加及断线等不良情况之类的问题。

另外，触摸面板传感器是感知人的手指等接触的传感器，通过用手指等在画面上平滑进行等，通过在触摸时施加的应力使其暂时产生弯曲。由于触摸面板的重复使用，该弯曲将重复发生，对布线也重复施加应力。因此，对上述布线也特别要求耐久性(对于应力的耐性)。但是，应用由纯银或银合金构成的导电性膏而形成的布线难以实现所述耐久性的充分，在触摸面板使用中容易损伤布线。布线损伤时，该布线的电阻变大，而产生电压下降，触摸面板传感器的位置检测的精度容易降低。另外，在采用笔接触方式的情况下，需要上述布线的狭小间距化，但是，在使用膏的情况下，用涂敷法形成，因此，狭小间距化困难。

另一方面，也考虑将电阻率非常低的纯Al用于布线材料。但是，在布线材料中使用纯Al时，产生了在触摸面板传感器的透明导电膜和纯Al膜之间形成绝缘性的氧化铝，不能确保电传导性之类的问题。于是，为了防止Al的氧化确保电传导性，提案有将由Mo、Ti等高融点金属构成的势垒金属层介装于透明导电膜和纯Al膜之间作为底层使用，或代替纯Al采用含有耐热性等优异的Nd的Al-Nd合金的方法。另外，本申请人在专利文献1中公示有一种含有规定量的Ni 及/或Co的Al-Ni/Co合金膜(单层布线材料)，作为即使与透明导电膜直接连接也能够显示低的电阻，并且难以产生经时的电阻的增加及断线的Al膜。

专利文献1：特开2009-245422号公报

发明内容

本发明的目的是提供一种尤其是对于横方向耐久性优异，难以引起断线及经时的电阻增加，可靠性高的触摸面板传感器。

可解决所述课题的本发明的触摸面板传感器，其具有透明导电膜及与所述透明导电膜连接的布线，其具有的主要特征为，所述布线自基板侧按顺序由高融点金属膜、Al合金膜、高融点金属膜构成，所述Al合金膜含有稀土元素0.05～5原子％，且，杨氏模量为80～200GPa，晶粒的规定方向切线直径(Feret直径)的最大值为100～350nm。

在本发明优选的实施方式中，所述稀土元素为选自由Nd、Gd、La、Y、Ce、Pr及Dy构成的组中的一种以上的元素。

在本发明优选的实施方式中，所述透明导电膜是由氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(1ZO)构成的膜。

根据本发明，作为触摸面板传感器用布线，在采用了含有稀土元素的Al合金膜的上及下配置有高融点金属膜的布线材料的触摸面板传感器中，适当地控制所述Al合金膜的杨氏模量及晶粒的规定方向切线直径(Feret直径)的最大值，因此，尤其是能够提供相对于横方向的耐久性优异，难以引起断线及经时的电阻的增加，且可靠性高的触摸面板传感器。本发明的触摸面板适用于例如便携游戏机及薄型计算机等那样的用指头等在画面上多方向描绘操作的静电容式的触摸面板传感器。

具体实施方式